公开(公告)号：CN1223901C

公开(公告)日：2005-10-19

申请号：CN01816823.X

申请日：2001-10-03

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  中山宽晴 ,  仁平贵康

IPC: G03F7/037 ,  G03F7/022 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0233

Abstract: 本发明的正感光性树脂组合物是一种表面疏水性优良的正感光性聚酰亚胺的树脂组合物，它含有成分〔a〕、成分〔b〕、成分〔c1〕或成分〔c2〕，成分〔c1〕或成分〔c2〕占聚合物总重量的0.1～50重量%，〔a〕为含有选自酚式羟基、羧基、苯硫酚基、磺酸基的基团的溶剂溶解性聚酰亚胺，〔b〕为感光性邻醌二叠氮化合物，〔c1〕为含有以下述式(2)表示的重复单元的聚酰亚胺，〔c2〕为含有以下述式(3)表示的重复单元的聚酰胺酸。(R3及R5为4价的有机基，R4及R6为含有含碳数为6以上的长链烷基或含氟烷基的2价的有机基。

公开(公告)号：CN1245665C

公开(公告)日：2006-03-15

申请号：CN02818490.4

申请日：2002-09-18

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 中山宽晴 ,  加藤雅一 ,  仁平贵康

IPC: G03F7/037 ,  G03F7/022 ,  C08L79/08 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08L79/08 ,  G03F7/0233

Abstract: 本发明提供一种在碱性水溶液显像时，无膜损耗、溶胀和剥离、固化后得出尺寸稳定性高的图案，最终固化膜的吸水率低、耐碱性优异的正感光性树脂组合物。该正感光性聚酰亚胺树脂组合物具有如下特征：含有具有通式(1)所示重复单元的有机溶剂可溶性聚酰亚胺、具有通式(2)所示重复单元的聚酰胺酸和通过光产生酸的化合物。式中，m、n为3以上、10000以下的整数，R1、R3为4价的有机基团，R2、R4为2价的有机基团，并且R2的5-100摩尔%为具有氟的2价有机基团。

公开(公告)号：CN1402841A

公开(公告)日：2003-03-12

申请号：CN00816394.4

申请日：2000-11-24

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 石井和久 ,  中山宽晴 ,  仁平贵康 ,  袋裕善

IPC: G03F7/023 ,  G03F7/038 ,  C08L79/08 ,  C08K5/28 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/02118 ,  C08K5/20 ,  C08K5/28 ,  C08L79/08 ,  G03F7/0233 ,  H01L21/312

Abstract: 本发明涉及正型感光性聚酰亚胺树脂组合物，该组合物的特征是，对应于100重量份具有式(1)表示的重复单元的可溶于溶剂的聚酰亚胺，含有1～50重量份具有式(2)表示的重复单元的聚酰亚胺前体，且对应于100重量份式(1)及式(2)的聚合物的合计量，含有1～100重量份邻醌二叠氮化物；式中，R1及R3表示2价有机基团，R2及R4表示4价有机基团。

公开(公告)号：CN1208683C

公开(公告)日：2005-06-29

申请号：CN00816394.4

申请日：2000-11-24

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 石井和久 ,  中山宽晴 ,  仁平贵康 ,  袋裕善

IPC: G03F7/004 ,  C08L79/08

CPC classification number: H01L21/02118 ,  C08K5/20 ,  C08K5/28 ,  C08L79/08 ,  G03F7/0233 ,  H01L21/312

Abstract: 本发明涉及正型感光性聚酰亚胺树脂组合物，该组合物的特征是，对应于100重量份具有式(1)，表示的重复单元的可溶于溶剂的聚酰亚胺，含有1～50重量份具有式(2)，表示的重复单元的聚酰亚胺前体，且对应于100重量份式(1)及式(2)的聚合物的合计量，含有1～100重量份邻醌二叠氮化物；式中，R1及R3表示2价有机基团，R2及R4表示4价有机基团。

公开(公告)号：CN1556939A

公开(公告)日：2004-12-22

申请号：CN02818490.4

申请日：2002-09-18

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 中山宽晴 ,  加藤雅一 ,  仁平贵康

IPC: G03F7/037 ,  G03F7/022 ,  C08L79/08 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08L79/08 ,  G03F7/0233

Abstract: 本发明提供一种在碱性水溶液显像时，无膜损耗、溶胀和剥离、固化后得出尺寸稳定性高的图案，最终固化膜的吸水率低、耐碱性优异的正感光性树脂组合物。该正感光性聚酰亚胺树脂组合物具有如下特征：含有具有通式(1)所示重复单元的有机溶剂可溶性聚酰亚胺、具有通式(2)所示重复单元的聚酰胺酸和通过光产生酸的化合物。式中，m、n为3以上、10000以下的整数，R1、R3为4价的有机基团，R2、R4为10 2价的有机基团，并且R2的5－100摩尔%为具有氟的2价有机基团。

公开(公告)号：CN1468391A

公开(公告)日：2004-01-14

申请号：CN01816823.X

申请日：2001-10-03

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  中山宽晴 ,  仁平贵康

IPC: G03F7/037 ,  G03F7/022 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0233

Abstract: 本发明的正感光性树脂组合物是一种表面疏水性优良的正感光性聚酰亚胺的树脂组合物，它含有成分〔a〕、成分〔b〕、成分〔c1〕或成分〔c2〕，成分〔c1〕或成分〔c2〕占聚合物总重量的0.1～50重量％，〔a〕为含有选自酚式羟基、羧基、苯硫酚基、磺酸基的基团的溶剂溶解性聚酰亚胺，〔b〕为感光性邻醌二叠氮化合物，〔c1〕为含有以式(2)表示的重复单元的聚酰亚胺，〔c2〕为含有以式(3)表示的重复单元的聚酰胺酸。(R3及R5为4价的有机基，R4及R6为含有含碳数为6以上的长链烷基或含氟烷基的2价的有机基。)