-
公开(公告)号:CN118103209A
公开(公告)日:2024-05-28
申请号:CN202280069688.1
申请日:2022-09-15
Applicant: 日产化学株式会社
IPC: B32B27/00 , C08F212/14 , C08G18/38 , C08G63/685 , C08K5/1515 , C08K5/55 , C08L25/18 , C08L45/00 , C08L67/00 , C08L75/12 , H01L21/02
Abstract: 本发明涉及一种层叠体,其具有:对活性能量射线具有透射性的支承体、所述支承体上的剥离层、以及所述剥离层上的树脂层,所述剥离层由含有膜形成成分和溶剂的剥离层形成用组合物形成,所述树脂层由树脂层前体形成,所述剥离层具有能够吸收所述活性能量射线而发生化学键断裂的断裂结构,所述膜形成成分具有第一反应性基团,所述树脂层前体具有能够与所述第一反应性基团反应的第二反应性基团。
-
公开(公告)号:CN118742607A
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202380022645.2
申请日:2023-01-10
Applicant: 日产化学株式会社
Abstract: 作为可进行EBR、能够形成具有高折射率、透明性、耐热性、耐光性、耐湿性、耐化学品性和与抗蚀剂同等的干蚀刻速率的树脂膜的树脂组合物,提供如下的树脂组合物,其含有(A)聚合物和(B)有机溶剂,所述(A)成分为包含由下述式(1)表示的结构单元的聚合物,所述(B)成分是熔点为15℃以下且沸点为85℃以上的有机溶剂。(式中,R1相互独立地表示羟基、甲基、乙基、甲氧基或乙氧基,a表示0~3的整数,n表示1~4的整数。其中,所述a和n满足1≤a+n≤4。)#imgabs0#
-