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公开(公告)号：CN109690724A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201780042671.6
申请日：2017-10-27
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供一种离子源，包括：气体源，用于供应气体：以及电离室，其定义延伸穿过所述电离室的纵轴，并包括沿着所述电离室的侧壁的出口孔。所述离子源还包括位于所述电离室的所述出口孔处的一个或多个引出电极，其用于从所述电离室引出一离子束形式的离子。所述引出电极中的至少一者包括离散杆集合，其在所述至少一引出电极中形成多个狭缝，以便能够实现增加所述离子束的电流或者实现控制所述离子束从所述电离室引出的角度中的至少一者。所述离散杆集合中的各杆平行于所述电离室的所述纵轴。
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