公开(公告)号：CN104051209A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201310685061.1

申请日：2013-12-13

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 托马斯·N·霍斯奇 ,  萨米·K·哈托

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/075

CPC classification number: H01J27/205

Abstract: 本发明涉及离子源。提供了一种离子源，其包括至少一个电子枪。电子枪包括用于生成电子束的电子源和用于接收气体的入口。电子枪还包括至少由阳极和接地元件限定的等离子体区域，其中，等离子体区域能够从经由入口接收的气体形成等离子体。等离子体能够由电子束的至少一部分所维持。电子枪进一步包括用于输送以下至少之一的出口：（i）由等离子体生成的离子或（ii）由电子源生成的电子束的至少一部分。

公开(公告)号：CN104051209B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201310685061.1

申请日：2013-12-13

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 托马斯·N·霍斯奇 ,  萨米·K·哈托

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/075

Abstract: 本发明涉及离子源。提供了一种离子源，其包括至少一个电子枪。电子枪包括用于生成电子束的电子源和用于接收气体的入口。电子枪还包括至少由阳极和接地元件限定的等离子体区域，其中，等离子体区域能够从经由入口接收的气体形成等离子体。等离子体能够由电子束的至少一部分所维持。电子枪进一步包括用于输送以下至少之一的出口：（i）由等离子体生成的离子或（ii）由电子源生成的电子束的至少一部分。