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公开(公告)号：CN101510506A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910004114.2
申请日：2009-02-12
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 日野雅泰
IPC: H01L21/265 , H01J37/317
CPC classification number: H01L21/265 , H01J37/20 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20228 , H01J2237/20235 , H01J2237/31703
Abstract: 本发明提供了一种离子注入方法及设备。使用离子束的束电流、到基板的剂量、以及被设置为1的基板的扫描次数的初始值，计算基板的扫描速度。如果扫描速度处于范围之内，则将当前的扫描次数和当前的扫描速度分别设置为实际的扫描次数和实际的扫描速度。如果扫描速度高于范围的上限，则中断计算处理。如果扫描速度低于范围的下限，则以1递增扫描次数以计算校正的扫描次数。通过使用校正的扫描次数等等计算校正的扫描速度。重复以上步骤直到校正的扫描速度处于容许的扫描速度范围之内。
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公开(公告)号：CN101510506B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200910004114.2
申请日：2009-02-12
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 日野雅泰
IPC: H01L21/265 , H01J37/317
CPC classification number: H01L21/265 , H01J37/20 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20228 , H01J2237/20235 , H01J2237/31703
Abstract: 本发明提供了一种离子注入方法及设备。使用离子束的束电流、到基板的剂量、以及被设置为1的基板的扫描次数的初始值，计算基板的扫描速度。如果扫描速度处于范围之内，则将当前的扫描次数和当前的扫描速度分别设置为实际的扫描次数和实际的扫描速度。如果扫描速度高于范围的上限，则中断计算处理。如果扫描速度低于范围的下限，则以1递增扫描次数以计算校正的扫描次数。通过使用校正的扫描次数等等计算校正的扫描速度。重复以上步骤直到校正的扫描速度处于容许的扫描速度范围之内。
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公开(公告)号：CN101510505B
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200910004112.3
申请日：2009-02-12
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 日野雅泰
IPC: H01L21/265 , H01J37/317
CPC classification number: H01L21/265 , H01J37/20 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20228 , H01J2237/20235 , H01J2237/31703
Abstract: 本发明提供了一种离子注入方法及设备。使用离子束的束电流、到基板的剂量，以及基准扫描速度，计算作为其中小数点后面的数字被截掉的整数值的基板的扫描次数。如果扫描次数小于2，则中断处理。如果扫描次数等于或者大于2，则确定扫描次数是偶数还是奇数。如果扫描次数是偶数，则将当前的扫描次数设置为实际的扫描次数。如果扫描次数是奇数，则获得比奇数扫描次数小1的偶数扫描次数，并将获得的偶数扫描次数设置为实际的扫描次数。通过使用实际的扫描次数、束电流以及剂量计算基板的实际的扫描速度。
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公开(公告)号：CN101510505A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910004112.3
申请日：2009-02-12
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 日野雅泰
IPC: H01L21/265 , H01J37/317
CPC classification number: H01L21/265 , H01J37/20 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20228 , H01J2237/20235 , H01J2237/31703
Abstract: 本发明提供了一种离子注入方法及设备。使用离子束的束电流、到基板的剂量，以及基准扫描速度，计算作为其中小数点后面的数字被截掉的整数值的基板的扫描次数。如果扫描次数小于2，则中断处理。如果扫描次数等于或者大于2，则确定扫描次数是偶数还是奇数。如果扫描次数是偶数，则将当前的扫描次数设置为实际的扫描次数。如果扫描次数是奇数，则获得比奇数扫描次数小1的偶数扫描次数，并将获得的偶数扫描次数设置为实际的扫描次数。通过使用实际的扫描次数、束电流以及剂量计算基板的实际的扫描速度。
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