公开(公告)号：CN111755301A

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN202010166744.6

申请日：2020-03-11

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 高嶋大树 ,  西村一平

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/30 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明涉及一种质量分离器，课题在于可在不使作业变得繁重下进行束路径的清扫等维护。本发明为一种对离子束(IB)进行质量分离的质量分离器(100)，该质量分离器具备：移动机构(30)，用以使属于包围束路径(L)的由磁性体所构成的磁轭(13)的构成要素的位于束路径(L)的上方、下方或侧方的上部磁轭(13a)、下部磁轭(13b)或侧方磁轭(13c、d)的至少任一者，于离子束(IB)的行进中的通常位置(P)与不和通常位置(P)的至少一部分重叠的退避位置(Q)之间移动。

公开(公告)号：CN111755301B

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202010166744.6

申请日：2020-03-11

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 高嶋大树 ,  西村一平

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/30 ,  H01J37/32