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公开(公告)号：CN106662814A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580031504.2
申请日：2015-06-09
申请人： 日本化药株式会社
摘要： 本发明的目的在于提供，在半导体、MEMS/微型机械应用领域中，固化物的残留应力极低、湿热试验后与Pt、LT和Ta等金属基板的紧密贴合性优异的树脂组合物和/或其层叠体、及其固化物。本发明是含有(A)环氧树脂、(B)具有酚性羟基的化合物和(C)光阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物，其中，(A)环氧树脂的加权平均环氧当量为300g/eq.以上，且该(A)环氧树脂的20质量％以上是由下述式(1)表示、且环氧当量为500～4500g/eq.的环氧树脂，该(B)具有酚性羟基的化合物含有特定结构的苯酚化合物。
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公开(公告)号：CN104756012B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201380056108.6
申请日：2013-10-25
申请人： 日本化药株式会社
CPC分类号： G03F7/0751 , G03F7/038 , G03F7/0755
摘要： 本发明的目的是提供：感光环氧树脂组合物和/或所述树脂组合物的抗蚀剂层压体，其使得可以利用光刻法形成具有垂直侧壁形状和高分辨率、低应力和耐湿热性的图像；以及所述树脂组合物和所述抗蚀剂层压体的固化产物。本发明是包含如下的感光树脂组合物：(A)环氧树脂；(B)具有特定结构的多元酚化合物；(C)光阳离子聚合引发剂；和(D)含环氧基的硅烷化合物。环氧树脂(A)包含：通过式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇反应得到的环氧树脂(A)；和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN104769499B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201380056176.2
申请日：2013-10-25
申请人： 日本化药株式会社
摘要： 本发明的目的是提供：感光环氧树脂组合物和/或所述树脂组合物的抗蚀剂层压体，其使得可以利用光刻法形成具有垂直侧壁形状和高分辨率、低应力和耐湿热性的图像；以及所述树脂组合物和所述抗蚀剂层压体的固化产物。本发明是包含如下的感光树脂组合物：(A)环氧树脂；(B)具有特定结构的多元醇化合物；(C)光阳离子聚合引发剂；和(D)含环氧基的硅烷化合物。环氧树脂(A)包含：通过式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)；和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN104769499A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201380056176.2
申请日：2013-10-25
申请人： 日本化药株式会社
CPC分类号： G03F7/0755 , B32B27/06 , B32B27/38 , B32B2559/00 , G03F7/038
摘要： 本发明的目的是提供：感光环氧树脂组合物和/或所述树脂组合物的抗蚀剂层压体，其使得可以利用光刻法形成具有垂直侧壁形状和高分辨率、低应力和耐湿热性的图像；以及所述树脂组合物和所述抗蚀剂层压体的固化产物。本发明是包含如下的感光树脂组合物：(A)环氧树脂；(B)具有特定结构的多元醇化合物；(C)光阳离子聚合引发剂；和(D)含环氧基的硅烷化合物。环氧树脂(A)包含：通过式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)；和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN104756012A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380056108.6
申请日：2013-10-25
申请人： 日本化药株式会社
CPC分类号： G03F7/0751 , G03F7/038 , G03F7/0755
摘要： 本发明的目的是提供：感光环氧树脂组合物和/或所述树脂组合物的抗蚀剂层压体，其使得可以利用光刻法形成具有垂直侧壁形状和高分辨率、低应力和耐湿热性的图像；以及所述树脂组合物和所述抗蚀剂层压体的固化产物。本发明是包含如下的感光树脂组合物：(A)环氧树脂；(B)具有特定结构的多元酚化合物；(C)光阳离子聚合引发剂；和(D)含环氧基的硅烷化合物。环氧树脂(A)包含：通过式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇反应得到的环氧树脂(A)；和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN102803333A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201080024750.2
申请日：2010-06-04
申请人： 日本化药株式会社
CPC分类号： H01L23/293 , C08J5/24 , C08J2363/00 , H01L23/3737 , H01L2924/0002 , H05K1/0326 , H01L2924/00
摘要： 本发明的目的在于提供能够得到具有耐热性和高热导率的固化物的环氧树脂组合物。本发明的环氧树脂组合物，是含有环氧树脂、固化剂和热导率20W/m·k以上的无机填充材料的环氧树脂组合物，其含有作为固化剂的通过规定的式(1)～(5)表示的化合物的一种以上与羟基苯甲醛类的反应而得到的酚化合物、和/或、作为环氧树脂的使表卤醇进一步与该酚化合物反应而得到的环氧化合物。
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公开(公告)号：CN106662814B
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201580031504.2
申请日：2015-06-09
申请人： 日本化药株式会社
摘要： 本发明的目的在于提供，在半导体、MEMS/微型机械应用领域中，固化物的残留应力极低、湿热试验后与Pt、LT和Ta等金属基板的紧密贴合性优异的树脂组合物和/或其层叠体、及其固化物。本发明是含有(A)环氧树脂、(B)具有酚性羟基的化合物和(C)光阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物，其中，(A)环氧树脂的加权平均环氧当量为300g/eq.以上，且该(A)环氧树脂的20质量％以上是由下述式(1)表示、且环氧当量为500～4500g/eq.的环氧树脂，该(B)具有酚性羟基的化合物含有特定结构的苯酚化合物。
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公开(公告)号：CN104813234B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201380061133.3
申请日：2013-11-21
申请人： 日本化药株式会社
摘要： 本发明的目的是提供以下：感光环氧树脂组合物，其通过光刻法可形成高分辨率、低应力图像，所述图像具有垂直侧壁并且耐湿热；和/或利用所述感光环氧树脂组合物的抗蚀剂层压体；以及通过固化所述感光环氧树脂组合物和/或抗蚀剂层压体得到的制品。本发明是感光树脂组合物，其含有以下：环氧树脂(A)，具有特定结构的多元醇化合物(B)，阳离子聚合光引发剂(C)，含环氧基的硅烷化合物(D)，和具有特定结构的反应性环氧单体(E)。环氧树脂(A)含有式(1)表示的苯酚衍生物，通过与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)，和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN102803333B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201080024750.2
申请日：2010-06-04
申请人： 日本化药株式会社
CPC分类号： H01L23/293 , C08J5/24 , C08J2363/00 , H01L23/3737 , H01L2924/0002 , H05K1/0326 , H01L2924/00
摘要： 本发明的目的在于提供能够得到具有耐热性和高热导率的固化物的环氧树脂组合物。本发明的环氧树脂组合物，是含有环氧树脂、固化剂和热导率20W/m·k以上的无机填充材料的环氧树脂组合物，其含有作为固化剂的通过规定的式(1)～(5)表示的化合物的一种以上与羟基苯甲醛类的反应而得到的酚化合物、和/或、作为环氧树脂的使表卤醇进一步与该酚化合物反应而得到的环氧化合物。
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公开(公告)号：CN103718108A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280037959.1
申请日：2012-07-26
申请人： 日本化药株式会社
摘要： 本发明涉及一种碱显影型光敏树脂组合物，包含：多羧酸树脂(A)，其通过使在两末端具有环氧基并且环氧当量为600g/当量～1,300g/当量的双官能双酚环氧树脂(a)和具有醇羟基的一元羧酸化合物(b)的反应产物(ab)与多元酸酐(c)反应而得到；在一个分子中具有两个以上环氧基的环氧树脂(B)；以及光酸产生剂(C)，其中所述一元羧酸化合物(b)对所述环氧树脂(a)的1当量环氧基的加成率为80当量%以上；并且所述多元酸酐对所述反应产物(ab)的1当量伯羟基的加成率为80当量%以上。
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