公开(公告)号：CN108735565A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810237376.2

申请日：2018-03-22

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 松原信一 ,  川浪义实 ,  志知广康

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/305

Abstract: 提供一种离子束装置，能够减轻对试样造成的损伤，并且在短时间内切换观察和加工。本发明所涉及的离子束装置切换照射将H3+离子包含得最多的离子束的动作模式和照射将比H3+重的离子包含得最多的离子束的动作模式。

公开(公告)号：CN108735565B

公开(公告)日：2020-09-25

申请号：CN201810237376.2

申请日：2018-03-22

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 松原信一 ,  川浪义实 ,  志知广康

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/305

Abstract: 提供一种离子束装置，能够减轻对试样造成的损伤，并且在短时间内切换观察和加工。本发明所涉及的离子束装置切换照射将H3+离子包含得最多的离子束的动作模式和照射将比H3+重的离子包含得最多的离子束的动作模式。