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公开(公告)号：CN106941065B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201610866961.X
申请日：2016-09-30
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明涉及样品位置对准方法和带电粒子束装置。在样品位置对准方法中，能够容易且迅速地将样品的观察对象部位位置对准于利用第一带电粒子束的观察视场内。是一种样品位置对准方法，其中，将配置在样品工作台（15）的样品（14）的观察对象部位位置对准于观察视场内，并且，包含：将包含样品（14）的图像显示在显示画面中；基于显示画面的图像来指定注目点；以使注目点位于当通过光学轴（Ob）上的轴上目标点时与光学轴（Ob）正交的轴上点探索面的方式对样品工作台的光学轴（Ob）方向的位置进行对准；进行注目点与轴上目标点的位置偏离的感测和轴上点探索面内移动，将注目点移动到轴上目标点；以及在注目点移动到轴上目标点之后，将注目点移动到带电粒子束光学系统的焦点深度内。
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公开(公告)号：CN106941065A
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201610866961.X
申请日：2016-09-30
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明涉及样品位置对准方法和带电粒子束装置。在样品位置对准方法中，能够容易且迅速地将样品的观察对象部位位置对准于利用第一带电粒子束的观察视场内。是一种样品位置对准方法，其中，将配置在样品工作台（15）的样品（14）的观察对象部位位置对准于观察视场内，并且，包含：将包含样品（14）的图像显示在显示画面中；基于显示画面的图像来指定注目点；以使注目点位于当通过光学轴（Ob）上的轴上目标点时与光学轴（Ob）正交的轴上点探索面的方式对样品工作台的光学轴（Ob）方向的位置进行对准；进行注目点与轴上目标点的位置偏离的感测和轴上点探索面内移动，将注目点移动到轴上目标点；以及在注目点移动到轴上目标点之后，将注目点移动到带电粒子束光学系统的焦点深度内。
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