-
公开(公告)号：CN106941065A
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201610866961.X
申请日：2016-09-30
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明涉及样品位置对准方法和带电粒子束装置。在样品位置对准方法中，能够容易且迅速地将样品的观察对象部位位置对准于利用第一带电粒子束的观察视场内。是一种样品位置对准方法，其中，将配置在样品工作台（15）的样品（14）的观察对象部位位置对准于观察视场内，并且，包含：将包含样品（14）的图像显示在显示画面中；基于显示画面的图像来指定注目点；以使注目点位于当通过光学轴（Ob）上的轴上目标点时与光学轴（Ob）正交的轴上点探索面的方式对样品工作台的光学轴（Ob）方向的位置进行对准；进行注目点与轴上目标点的位置偏离的感测和轴上点探索面内移动，将注目点移动到轴上目标点；以及在注目点移动到轴上目标点之后，将注目点移动到带电粒子束光学系统的焦点深度内。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113496859A
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN202110284278.6
申请日：2021-03-17
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/20
Abstract: 提供带电粒子束装置。通过适当地校正由于试样的旋转而引起的位置偏移而能够抑制带电粒子束的照射位置的变动的。带电粒子束装置(10)具有会聚离子束镜筒(17)、试样保持器(12)、支承试样保持器(12)的载台(31)、固定部旋转机构、载台驱动机构(33)和控制装置(25)。试样保持器(12)具有固定试样(P)的固定部。固定部旋转机构使固定部绕第1旋转轴和第2旋转轴的各轴旋转。载台驱动机构(33)使载台(31)三维地平移且绕第3旋转轴旋转。控制装置(25)取得校正值，该校正值对针对绕第1旋转轴、第2旋转轴和第3旋转轴中的至少任意一个轴的旋转的旋转中心的位置变动进行校正。控制装置(25)根据校正值使载台(31)平移。
-
公开(公告)号：CN102013379B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201010272016.X
申请日：2010-09-02
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/28 , H01J37/304
CPC classification number: G01N23/2255 , H01J2237/221
Abstract: 本发明提供能够用不具有SEM装置的聚焦离子束装置高效率地连续实施断面加工观察的断面加工观察方法以及装置。作为解决手段，提供一种断面加工观察方法，通过基于聚焦离子束的蚀刻加工在试样上形成断面，通过基于聚焦离子束的断面观察而取得断面观察图像，对包含所述断面的区域进行蚀刻加工，形成新断面，取得新断面的断面观察图像，其特征在于，向试样上的包含标记和断面的区域照射聚焦离子束，取得表面观察图像，在表面观察图像上识别标记的位置，以标记的位置为基准，设定用于形成新断面的聚焦离子束的照射区域，进行试样断面的蚀刻加工。
-
公开(公告)号：CN112635276A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202010660895.7
申请日：2020-07-10
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供一种液体金属离子源和聚焦离子束装置，能够长期间稳定地释放离子束。该液体金属离子源(50)具备：贮存室(10)，其对形成液体金属的离子材料(M)进行保持；针状电极(20)，其表面由从贮存室供给的离子材料覆盖；引出电极(22)，其使离子材料的离子从针状电极的前端释放；射束光圈(24)，其配置于引出电极的下游侧，对离子的束径进行限制；以及真空室(30)，其对这些进行收纳并保持为真空，该液体金属离子源(50)的特征在于，进一步具有氧化性气体导入部(40)，氧化性气体导入部与真空室连通而向针状电极的周围导入氧化性气体。
-
公开(公告)号：CN112635276B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202010660895.7
申请日：2020-07-10
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供一种液体金属离子源和聚焦离子束装置，能够长期间稳定地释放离子束。该液体金属离子源(50)具备：贮存室(10)，其对形成液体金属的离子材料(M)进行保持；针状电极(20)，其表面由从贮存室供给的离子材料覆盖；引出电极(22)，其使离子材料的离子从针状电极的前端释放；射束光圈(24)，其配置于引出电极的下游侧，对离子的束径进行限制；以及真空室(30)，其对这些进行收纳并保持为真空，该液体金属离子源(50)的特征在于，进一步具有氧化性气体导入部(40)，氧化性气体导入部与真空室连通而向针状电极的周围导入氧化性气体。
-
公开(公告)号：CN106941065B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201610866961.X
申请日：2016-09-30
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明涉及样品位置对准方法和带电粒子束装置。在样品位置对准方法中，能够容易且迅速地将样品的观察对象部位位置对准于利用第一带电粒子束的观察视场内。是一种样品位置对准方法，其中，将配置在样品工作台（15）的样品（14）的观察对象部位位置对准于观察视场内，并且，包含：将包含样品（14）的图像显示在显示画面中；基于显示画面的图像来指定注目点；以使注目点位于当通过光学轴（Ob）上的轴上目标点时与光学轴（Ob）正交的轴上点探索面的方式对样品工作台的光学轴（Ob）方向的位置进行对准；进行注目点与轴上目标点的位置偏离的感测和轴上点探索面内移动，将注目点移动到轴上目标点；以及在注目点移动到轴上目标点之后，将注目点移动到带电粒子束光学系统的焦点深度内。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.025 seconds)
