公开(公告)号：CN113759149A

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN202110527321.7

申请日：2021-05-14

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 小野田有吾 ,  山本浩令 ,  相苏亨 ,  汪子涵 ,  佐藤荣广

IPC: G01Q60/24 ,  G01Q60/38 ,  G01N21/84 ,  G01N21/41 ,  G01B11/06 ,  G02B21/36

Abstract: 提供显微镜系统、试样的观察方法、试样的膜厚的校正方法、试样的复折射率的计算方法。抑制悬臂与试样发生碰撞那样的麻烦。显微镜系统(100)具有：探针单元(40)，其具有悬臂(43)：照相机(15)；照相机位置微调机构(17)，其为了调整照相机相对于试样(S)的位置，对该照相机进行驱动；以及计算机(30)，其控制照相机位置微调机构而使照相机移动，使得照相机(15)的焦点对准于悬臂(43)的背面或试样的表面。计算机根据使照相机的位置从使照相机(15)的焦点对准于悬臂(43)的背面的位置起移动到使照相机(15)的位置对准于试样(S)的表面的位置时的照相机(15)的移动距离(Δz’)来计算从悬臂(43)到试样(S)的表面的距离(Δz)。