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公开(公告)号：CN111721195A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201911281490.6
申请日：2019-12-13
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法和三维形状计测装置。在对测定对象物照射测定介质而根据干涉信号计测三维形状的三维形状计测方法中，包括更换了物镜的情况在内，简便且准确地进行干涉信号的摄像元件的焦点位置和干涉条纹的出现位置的调整。对摄像元件的位置进行调整，使得出现有所使用的物镜的干涉条纹的z轴上的位置与摄像元件的焦点位置的相对位置之差处于规定的范围。
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公开(公告)号：CN113759149A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202110527321.7
申请日：2021-05-14
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 提供显微镜系统、试样的观察方法、试样的膜厚的校正方法、试样的复折射率的计算方法。抑制悬臂与试样发生碰撞那样的麻烦。显微镜系统(100)具有：探针单元(40)，其具有悬臂(43)：照相机(15)；照相机位置微调机构(17)，其为了调整照相机相对于试样(S)的位置，对该照相机进行驱动；以及计算机(30)，其控制照相机位置微调机构而使照相机移动，使得照相机(15)的焦点对准于悬臂(43)的背面或试样的表面。计算机根据使照相机的位置从使照相机(15)的焦点对准于悬臂(43)的背面的位置起移动到使照相机(15)的位置对准于试样(S)的表面的位置时的照相机(15)的移动距离(Δz’)来计算从悬臂(43)到试样(S)的表面的距离(Δz)。
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公开(公告)号：CN110411368A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910337335.5
申请日：2019-04-25
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供干涉信号的相位校正方法。在计测伴有周期函数的物理现象时，对不可避免地产生的相位偏移进行校正。在干涉信号的相位校正方法中，从光源对测定对象物照射测定介质，取得呈现周期函数的干涉信号，针对干涉信号在多个采样点进行采样，求出各采样点的相位偏移，根据该相位偏移进行干涉信号的相位校正。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111721195B
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN201911281490.6
申请日：2019-12-13
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法和三维形状计测装置。在对测定对象物照射测定介质而根据干涉信号计测三维形状的三维形状计测方法中，包括更换了物镜的情况在内，简便且准确地进行干涉信号的摄像元件的焦点位置和干涉条纹的出现位置的调整。对摄像元件的位置进行调整，使得出现有所使用的物镜的干涉条纹的z轴上的位置与摄像元件的焦点位置的相对位置之差处于规定的范围。
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公开(公告)号：CN114486729A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202110687515.3
申请日：2021-06-21
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供一种探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法。能够缩短光轴调整时间。探针显微镜(1)具有悬臂(3)、第一激光器(11)、照相机(25)、无限远光学系统(PL)、第一转动部(31)以及控制部(35)。无限远光学系统(PL)形成于悬臂(3)与照相机(25)之间，供第一激光(D1)入射。第一转动部(31)使第一激光器(11)转动，使第一激光(D1)相对于无限远光学系统(PL)的第一入射角变化。控制部(35)根据在无限远光学系统(PL)中由所述第一激光(D1)产生的第一幻影光的第一幻影光像的位置，在照相机(25)拍摄的图像中取得第一激光(D1)的第一激光像的位置。控制部(35)驱动移动机构(30)和第一转动部(31)中的至少一方使得第一激光像的位置接近悬臂(3)的规定位置。
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公开(公告)号：CN108692676A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810213170.6
申请日：2018-03-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测中，通过使用负的干涉信号确保干涉信号的光量，从而对计测对象物能够进行适当的计测。该三维形状计测方法使用传感器获取与对计测对象物照射的来自光源的照射光对应的干涉信号，获取干涉信号中的信号强度比相当于信号强度的补偿值的基线小的负的干涉信号，根据负的干涉信号的信号强度设定用于计测计测对象物的高度信息的照射光的光量即计测光量。
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公开(公告)号：CN107796326B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN201710717616.4
申请日：2017-08-21
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在进行使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测时，对倾斜角度较大的计测对象物(试样)的表面也能够进行适当的计测。该三维形状计测方法如下：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据观测相干长度lc’对计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。
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公开(公告)号：CN107796326A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710717616.4
申请日：2017-08-21
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在进行使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测时，对倾斜角度较大的计测对象物(试样)的表面也能够进行适当的计测。该三维形状计测方法如下：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据观测相干长度lc’对计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。
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