公开(公告)号：CN108666195A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810245793.1

申请日：2018-03-23

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 荷田昌克

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30

Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其能够迅速地进行试样的配置和更换。该带电粒子束装置具有：带电粒子束镜筒，其向试样照射带电粒子束；试样载台，其包含具有基座部(5d)和相对于基座部(5d)绕旋转轴线(R1)旋转的旋转移动部的旋转载台(5A)，使试样相对于带电粒子束镜筒移动；旋转连接器(56)，其与旋转轴线(R1)同轴配置，插装在基座部(5d)与旋转移动部之间；以及接触引脚(55a)，其配置在试样载台的上部，与旋转连接器(56)电连接。

公开(公告)号：CN111736424B

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN201911394067.7

申请日：2019-12-30

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 中川良知 ,  朝生光人 ,  铃木胜美 ,  冈部卫 ,  荷田昌克

IPC: G03F1/74

Abstract: 本发明提供掩模缺陷修正装置和掩模缺陷修正方法，不用使掩模在掩模缺陷修正装置与检查装置之间一边暴露在大气中一边移动，便能够进行精度高的缺陷修正。掩模缺陷修正装置使得一边向掩模的缺陷供给气体，一边照射由补正部补正后的照射量的带电粒子束，从而形成沉积膜。

公开(公告)号：CN105836403A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201610051728.6

申请日：2016-01-26

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 荷田昌克 ,  岩堀敏行

IPC: B65G35/00

CPC classification number: G01N1/14 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/31745 ,  B65G35/00

Abstract: 本发明提供试样运送机构和真空装置。该试样运送机构可以在小的空间内容易进行试样运送棒的收纳动作。该试样运送机构(10)具有：试样运送棒(11)，其在试样室和预备试样室(4a)内沿着预定方向运送试样；支撑体，其支撑试样运送棒(11)；壳体(31)，其以能够绕与左右方向垂直的旋转轴(P)旋转的方式支撑所述支撑体(21)；以及第3O形环(36)，其配置在支撑体(21)与壳体(31)之间，对试样室和预备试样室(4a)进行密封。试样运送棒(11)在能够运送试样的使用状态与通过支撑体(21)的旋转从使用状态移动到沿着上下方向的位置的收纳状态之间能够移动。

公开(公告)号：CN108666195B

公开(公告)日：2022-03-29

申请号：CN201810245793.1

申请日：2018-03-23

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 荷田昌克

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30

Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其能够迅速地进行试样的配置和更换。该带电粒子束装置具有：带电粒子束镜筒，其向试样照射带电粒子束；试样载台，其包含具有基座部(5d)和相对于基座部(5d)绕旋转轴线(R1)旋转的旋转移动部的旋转载台(5A)，使试样相对于带电粒子束镜筒移动；旋转连接器(56)，其与旋转轴线(R1)同轴配置，插装在基座部(5d)与旋转移动部之间；以及接触引脚(55a)，其配置在试样载台的上部，与旋转连接器(56)电连接。

公开(公告)号：CN111736424A

公开(公告)日：2020-10-02

申请号：CN201911394067.7

申请日：2019-12-30

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 中川良知 ,  朝生光人 ,  铃木胜美 ,  冈部卫 ,  荷田昌克

IPC: G03F1/74

Abstract: 本发明提供掩模缺陷修正装置和掩模缺陷修正方法，不用使掩模在掩模缺陷修正装置与检查装置之间一边暴露在大气中一边移动，便能够进行精度高的缺陷修正。掩模缺陷修正装置使得一边向掩模的缺陷供给气体，一边照射由补正部补正后的照射量的带电粒子束，从而形成沉积膜。

公开(公告)号：CN107204269A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201710160447.9

申请日：2017-03-17

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 大西毅 ,  荷田昌克

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明涉及复合带电粒子束装置。提供一种同时具备聚焦离子束镜筒和电子束镜筒的复合带电粒子束装置，所述复合带电粒子束装置能够防止电子束镜筒的污损并且高精度地照射电子束。具备：样品台，载置样品；聚焦离子束镜筒，向所述样品照射聚焦离子束；电子束镜筒，向所述样品照射电子束；样品室，收容所述样品台、所述聚焦离子束镜筒和电子束镜筒；防污板，以能在插入到所述电子束镜筒的出射面与所述样品台之间的插入位置和从所述出射面与所述样品台之间退出后的敞开位置之间移位的方式形成；以及操作单元，使所述防污板在所述插入位置和所述敞开位置之间移位。

公开(公告)号：CN103311081A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310082287.2

申请日：2013-03-15

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 荷田昌克

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/295

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/31713

Abstract: 本发明涉及带电粒子束设备和样本输送设备。一种带电粒子束设备包括：样本室；样本架；电子束照射系统，所述电子束照射系统用于利用电子束照射所述样本；聚焦离子束照射系统，所述聚焦离子束照射系统用于利用聚焦离子束照射所述样本；样本架驱动单元，所述样本架驱动单元的旋转轴线与所述电子束照射系统的照射轴线和所述聚焦离子束照射系统的照射轴线中的至少一者正交；以及样本输送机构，所述样本输送机构用于将所述样本输送到所述样本架。所述样本输送机构包括沿与所述样本架驱动单元的所述旋转轴线平行的方向设置在所述样本架驱动单元中的输送路径，并且构造成将所述样本通过所述输送路径输送到所述样本架。