公开(公告)号：CN1957299B

公开(公告)日：2010-04-21

申请号：CN200580016692.8

申请日：2005-03-22

Applicant: 日本瑞翁株式会社

Inventor： 东广和 ,  寺田和代 ,  木内孝司

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0048 ,  G03F7/038

Abstract: 本发明提供电特性优异、溶解稳定性优良，没有涂布不均，安全性高的放射线感应组合物，在基板上形成使用该放射线感应组合物形成的树脂膜的叠层体、以及该叠层体的制造方法。本发明的放射线感应组合物含有具有质子性极性基的环状烯烃类聚合物、放射线感应化合物、交联剂以及溶剂，其特征在于，该溶剂含有在同一分子内具有互不相同的两个烷基的二亚烷基二醇二烷基醚。本发明的叠层体包括基板、和在其上使用上述放射线感应组合物形成的树脂膜。

公开(公告)号：CN100346229C

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN03811985.4

申请日：2003-09-30

Applicant: 日本瑞翁株式会社

Inventor： 小出村顺司 ,  东广和

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0395 ,  G03F7/0382

Abstract: 本发明涉及含有与具有芳基和极性基团的基团结合的脂环式烯烃树脂、酸发生剂、交联剂，以及溶剂的放射线敏感性树脂组合物，除具有优良的低介电常数、平坦性、透明性以及耐溶剂性以外，还具有优良的分辨率、残膜率以及图案形状，以及优良的耐热变色性。应用该放射线敏感性树脂组合物的树脂图案膜的形成方法。该树脂图案膜与其作为电子部件用树脂膜的利用。

公开(公告)号：CN1957299A

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200580016692.8

申请日：2005-03-22

Applicant: 日本瑞翁株式会社

Inventor： 东广和 ,  寺田和代 ,  木内孝司

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0048 ,  G03F7/038

Abstract: 本发明提供电特性优异、溶解稳定性优良，没有涂布不均，安全性高的放射线感应组合物，在基板上形成使用该放射线感应组合物形成的树脂膜的叠层体、以及该叠层体的制造方法。本发明的放射线感应组合物含有具有质子性极性基的环状烯烃类聚合物、放射线感应化合物、交联剂以及溶剂，其特征在于，该溶剂含有在同一分子内具有互不相同的两个烷基的二亚烷基二醇二烷基醚。本发明的叠层体包括基板、和在其上使用上述放射线感应组合物形成的树脂膜。

公开(公告)号：CN1656428A

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：CN03811985.4

申请日：2003-09-30

Applicant: 日本瑞翁株式会社

Inventor： 小出村顺司 ,  东广和

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0395 ,  G03F7/0382

Abstract: 本发明涉及含有与具有芳基和极性基团的基团结合的脂环式烯烃树脂、酸发生剂、交联剂，以及溶剂的放射线敏感性树脂组合物，除具有优良的低介电常数、平坦性、透明性以及耐溶剂性以外，还具有优良的分辨率、残膜率以及图案形状，以及优良的耐热变色性。应用该放射线敏感性树脂组合物的树脂图案膜的形成方法。该树脂图案膜与其作为电子部件用树脂膜的利用。