公开(公告)号：CN107409464A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201580077983.1

申请日：2015-12-25

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 横山贵士 ,  丹下正次 ,  清水秀树 ,  山田和成

IPC: H05H1/24 ,  C02F1/50

CPC classification number: C02F1/4608 ,  C02F1/50 ,  C02F1/78 ,  C02F2001/46133 ,  C02F2201/46135 ,  C02F2201/46175 ,  C02F2201/4619 ,  C02F2209/235 ,  C02F2303/04 ,  H05H1/24 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2418 ,  H05H2001/2437 ,  H05H2245/121

Abstract: 本发明涉及等离子发生方法及杀菌水生成方法。本发明向被供给气体的第一电极(12A)与第二电极(12B)之间反复施加脉冲电压(Pv)，使第一电极(12A)与第二电极(12B)之间产生等离子，从而在等离子中生成活性种。并且，将产生等离子所必需的投入能量设定为1.8W/cm3～8.5W/cm3。

公开(公告)号：CN119790350A

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202280005706.X

申请日：2022-09-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 柏屋俊克 ,  强力尚纪 ,  丹下正次 ,  近藤厚男

IPC: G03F1/62

Abstract: 本发明提供即便膜万一破损的情况下也不易产生颗粒的EUV透过膜。该EUV透过膜具备：主层，其由金属铍构成，且具有第一面及第二面；以及1对表面层，它们设置于主层的第一面及第二面，且包含选自氟化铍、氟氮化铍、氟氧化铍及氟氮氧化铍中的至少1种氟化物。