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公开(公告)号：CN119790350A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202280005706.X
申请日：2022-09-15
Applicant: 日本碍子株式会社
Inventor： 柏屋俊克 , 强力尚纪 , 丹下正次 , 近藤厚男
IPC: G03F1/62
Abstract: 本发明提供即便膜万一破损的情况下也不易产生颗粒的EUV透过膜。该EUV透过膜具备：主层，其由金属铍构成，且具有第一面及第二面；以及1对表面层，它们设置于主层的第一面及第二面，且包含选自氟化铍、氟氮化铍、氟氧化铍及氟氮氧化铍中的至少1种氟化物。
