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公开(公告)号:CN108290796B
公开(公告)日:2020-08-28
申请号:CN201680067937.8
申请日:2016-11-25
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明的非活性气体的置换方法(1)具有:封闭工序(S1),将蜂窝成型体收容于气体置换室(3a)的室内空间(7a)中并在保持与外部的气密性的状态下进行封闭;减压工序(S2),将室内空间(7a)减压至预先设定的第一真空压;增压工序(S3),向减压后的室内空间(7a)中导入氩气(10),将室内空间(7a)增压至真空压比第一真空压高且真空压比大气压低的第二真空压;再减压工序(S4),将增压后的室内空间(7a)再减压至第一真空压;以及复压工序,将增压工序(S3)和再减压工序(S4)至少重复两次后,向再减压至第一真空压后的室内空间(7a)中导入氩气(10),将室内空间(7a)复压至大气压。
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公开(公告)号:CN108290796A
公开(公告)日:2018-07-17
申请号:CN201680067937.8
申请日:2016-11-25
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明的非活性气体的置换方法(1)具有:封闭工序(S1),将蜂窝成型体收容于气体置换室(3a)的室内空间(7a)中并在保持与外部的气密性的状态下进行封闭;减压工序(S2),将室内空间(7a)减压至预先设定的第一真空压;增压工序(S3),向减压后的室内空间(7a)中导入氩气(10),将室内空间(7a)增压至真空压比第一真空压高且真空压比大气压低的第二真空压;再减压工序(S4),将增压后的室内空间(7a)再减压至第一真空压;以及复压工序,将增压工序(S3)和再减压工序(S4)至少重复两次后,向再减压至第一真空压后的室内空间(7a)中导入氩气(10),将室内空间(7a)复压至大气压。
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