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公开(公告)号:CN116888310A
公开(公告)日:2023-10-13
申请号:CN202280016510.0
申请日:2022-02-28
Applicant: 日本碍子株式会社
Inventor: 吉川润 , 前田美穗 , 柴田宏之
IPC: C30B29/16
Abstract: 复合基板(50)具备基底基板(52)和设于基底基板(52)上的α-Ga2O3晶体膜(54)。α-Ga2O3晶体膜(54)的膜厚为10μm以上,碱金属元素的至少1种的含有量为1.2×1015原子/cm3以上且1.0×1018原子/cm3以下。
公开(公告)号:CN116490645A
公开(公告)日:2023-07-25
申请号:CN202180043073.7
申请日:2021-09-29
Abstract: 本发明的氧化镓单晶粒子为α-Ga2O3单晶粒子,粒径及高度超过100μm。
公开(公告)号:CN114585776A
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN202080048364.0
申请日:2020-10-08
Inventor: 吉川润 , 前田美穗
IPC: C30B29/16 , C30B7/10
Abstract: 使含有Ga离子的水溶液处于温度400℃以上、压力22.1MPa以上的超临界状态,由此得到α-或β-Ga2O3结晶。