SiC单晶基板及其制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117425752A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202180099091.7

    申请日:2021-10-20

    IPC分类号: C30B29/36

    摘要: 提供一种基底面位错密度低且翘曲量小的SiC单晶基板的制造方法。该制造方法包括:将作为晶种的SiC单晶和SiC粉末层以相互接触的状态配置于容器内的工序;将容器配置于烧成炉内的被控制为设定温度±50℃以内的温度域的有效加热带来进行热处理,由此使SiC单晶在晶种上生长的工序。

    平坦片材
    4.
    发明公开
    平坦片材 审中-实审

    公开(公告)号:CN115057711A

    公开(公告)日:2022-09-16

    申请号:CN202210702305.1

    申请日:2018-10-24

    摘要: 本发明涉及一种平坦片材,其中,用厚度为75μm且表面的算术平均粗糙度Ra为0.03μm的PET膜夹持所述平坦片材后,载置于厚度为10mm且表面的算术平均粗糙度Ra为0.29μm的不锈钢板上并进行真空包装,以200kg/cm2进行等静压压制后,所述平坦片材的与所述不锈钢板侧相反一侧的面的截面曲线的最大截面高度Pt为0.8μm以下。

    氮化镓自立基板、发光元件及它们的制造方法

    公开(公告)号:CN105658849A

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201580001462.8

    申请日:2015-06-25

    IPC分类号: C30B29/38 H01L33/02

    CPC分类号: C30B29/38 H01L33/02

    摘要: 本发明提供一种氮化镓自立基板,由在大致法线方向具有单晶结构的板形成,所述板由多个氮化镓系单晶粒子构成。该氮化镓自立基板可以通过包含如下工序的方法制造:准备取向多晶烧结体,在取向多晶烧结体上形成包含氮化镓的晶种层,形成的晶种层的晶体取向与取向多晶烧结体的晶体取向基本一致,在晶种层上,形成厚度20μm以上的由氮化镓系结晶构成的层,形成的由氮化镓系结晶构成的层的晶体取向与晶种层的晶体取向基本一致,除去取向多晶烧结体,得到氮化镓自立基板。根据本发明,能够提供廉价且适合大面积化、作为氮化镓单晶基板的替代材料有用的氮化镓自立基板。

    基底基板及其制造方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113574214B

    公开(公告)日:2024-08-02

    申请号:CN201980081291.2

    申请日:2019-09-30

    摘要: 本发明提供高品质的基底基板,其具备用于13族元素的氮化物或氧化物结晶生长的取向层,该取向层中的结晶缺陷(位错)显著降低。该基底基板是具备用于13族元素的氮化物或氧化物结晶生长的取向层的基底基板,取向层的用于结晶生长一侧的表面由具有a轴长度和/或c轴长度比蓝宝石的a轴长度和/或c轴长度大的刚玉型结晶结构的材料构成,取向层包含:选自由α-Cr2O3、α-Fe2O3、α-Ti2O3、α-V2O3及α-Rh2O3构成的组中的材料、或者含有选自由α-Al2O3、α-Cr2O3、α-Fe2O3、α-Ti2O3、α-V2O3及α-Rh2O3构成的组中的2种以上的固溶体,刚玉型结晶结构的(104)晶面的X射线摇摆曲线半值宽度为500arcsec.以下。

    SiC基板和SiC复合基板
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117529584A

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202280043244.0

    申请日:2022-10-19

    IPC分类号: C30B29/36

    摘要: 本发明提供一种表面的TSD密度非常小的SiC基板。该基板为具备双轴取向SiC层的SiC基板,在用光致发光(PL)对双轴取向SiC层的表面进行分析、得到以[11‑20]方向的距离(μm)为横轴且以PL强度I为纵轴绘制的坐标图的情况下,(i)上述坐标图具有重复极大点和极小点的形状,其中,极大点被定义为给出比由在其左右的第一近的点、第二近的点和第三近的点组成的合计6个点的各个PL强度I都更高的PL强度I的点,且极小点被定义为给出比由在其左右的第一近的点、第二近的点和第三近的点组成的合计6个点的各个PL强度I都更低的PL强度I的点,(ii)将某个极大点PM处的PL强度I的极大值设为M、将在[11‑20]方向的距离比该极大点PM长、且位于与该极大点PM最近的位置的极小点Pm处的PL强度I的极小值设为m,此时M/m的比为1.05以上,(iii)极大点PM与极小点Pm在[11‑20]方向的距离L为15~150μm。

    层叠结构体
    9.
    发明公开
    层叠结构体 审中-实审

    公开(公告)号:CN116018260A

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202180054549.7

    申请日:2021-06-09

    IPC分类号: B32B9/00

    摘要: 本发明的层叠结构体是在基底基板上具备包含α-Ga2O3或α-Ga2O3系固溶体的具有刚玉型结晶结构的半导体膜的层叠结构体,其中,半导体膜的平均膜厚为10μm以上,半导体膜呈凸状或凹状翘曲,半导体膜的翘曲量为20μm以上64μm以下。

    多晶氮化镓自立基板和使用该多晶氮化镓自立基板的发光元件

    公开(公告)号:CN108305923A

    公开(公告)日:2018-07-20

    申请号:CN201810324504.7

    申请日:2015-03-23

    IPC分类号: H01L33/16 H01L33/32 C30B29/40

    摘要: 本发明提供一种多晶氮化镓自立基板和使用该多晶氮化镓自立基板的发光元件,由在大致法线方向上沿特定结晶方位取向的多个氮化镓系单晶粒子构成。该自立基板的基板表面的利用电子背散射衍射法(EBSD)的反极图成像测定的各氮化镓系单晶粒子的结晶方位按照相对于特定结晶方位以各种角度倾斜的方式分布,其平均倾斜角为1~10°。此外,本发明的发光元件包括所述自立基板和形成于基板上的发光功能层,该发光功能层具有一层以上的在大致法线方向具有单晶结构的由多个半导体单晶粒子构成的层。根据本发明,可以提供能够降低基板表面的缺陷密度的多晶氮化镓自立基板。此外,使用本发明的多晶氮化镓自立基板也可以提供能够获得高发光效率的发光元件。