铝构件及其制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116457506A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202180071625.5

    申请日:2021-10-14

    Abstract: 铝构件(1)包括由铝或铝合金形成的基材(10)。铝构件(1)包括阳极氧化皮膜(20),所述阳极氧化皮膜(20)包括:阻挡层(21),与基材(10)的表面(11)接触;第一多孔层(22),和阻挡层(21)的与基材(10)为相反侧的面接触;以及第二多孔层(23),和第一多孔层(22)的与阻挡层(21)相反的面接触,且具有从与第一多孔层(22)接触的面向露出的表面(24)整齐排列并呈直线状延伸的多个孔。第一多孔层(22)具有多个分支的孔及平均孔径比第二多孔层(23)大的多个孔中的至少任一者。

    防护膜框架和防护膜组件

    公开(公告)号:CN109416504A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201780042217.0

    申请日:2017-06-30

    Abstract: 本发明提供:一种能够有效抑制因贴附防护膜组件(1)而引起的曝光原版(8)的变形、且不具有复杂形状的防护膜框架(2);和使用了该防护膜框架的防护膜组件。一种防护膜框架,其特征在于:在铝合金制框架的表面具有阳极氧化膜,该铝合金制框架由铝合金构成,该铝合金含有5.0~10.0质量%的Ca且剩余部分为铝和不可避免的杂质,该铝合金中作为分散相的Al4Ca相的面积(体积)率为25%以上,Al4Ca相的一部分的晶体结构是单斜晶,并且,阳极氧化膜具有Al4Ca颗粒。

    防尘薄膜用支承框的制造方法、防尘薄膜用支承框及防尘薄膜

    公开(公告)号:CN104471480B

    公开(公告)日:2018-07-27

    申请号:CN201380037999.0

    申请日:2013-07-11

    CPC classification number: G03F1/64 C25D11/16

    Abstract: 本发明提供可通过阳极氧化处理形成充分黑色化的阳极氧化被膜,能在工业上低成本且简便地获得防尘薄膜用支承框的方法、通过该方法得到的防尘薄膜用支承框及防尘薄膜。防尘薄膜用支承框的制造方法以及通过该方法得到的防尘薄膜用支承框及具备光学薄膜体的防尘薄膜,所述方法是具备光学薄膜体用作防尘薄膜的防尘薄膜用支承框的制造方法,其特征在于,对由Al‑Zn‑Mg系铝合金形成的铝材进行退火后,在碱性浴中进行阳极氧化处理,形成明度指数L值在40以下的阳极氧化被膜。

    光罩护膜框及其制造方法

    公开(公告)号:CN105659163A

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201380080439.3

    申请日:2013-10-23

    Abstract: 本发明提供在能够防止雾产生的同时、聚光灯下的表面闪烁缺陷得到减少的光罩护膜框及其制造方法。本发明为光罩护膜框以及光罩护膜框的制造方法,其中光罩护膜框是由铝或铝合金形成的铝框材的表面上具有阳极氧化皮膜的光罩护膜框,阳极氧化皮膜包括使用碱性阳极氧化浴形成的皮膜和使用酸性阳极氧化浴形成的皮膜。

    防尘薄膜用支承框的制造方法、防尘薄膜用支承框及防尘薄膜

    公开(公告)号:CN104471480A

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201380037999.0

    申请日:2013-07-11

    CPC classification number: G03F1/64 C25D11/16

    Abstract: 本发明提供可通过阳极氧化处理形成充分黑色化的阳极氧化被膜,能在工业上低成本且简便地获得防尘薄膜用支承框的方法、通过该方法得到的防尘薄膜用支承框及防尘薄膜。防尘薄膜用支承框的制造方法以及通过该方法得到的防尘薄膜用支承框及具备光学薄膜体的防尘薄膜,所述方法是具备光学薄膜体用作防尘薄膜的防尘薄膜用支承框的制造方法,其特征在于,对由Al-Zn-Mg系铝合金形成的铝材进行退火后,在碱性浴中进行阳极氧化处理,形成明度指数L*值在40以下的阳极氧化被膜。

    防护膜框架和防护膜组件

    公开(公告)号:CN109416504B

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN201780042217.0

    申请日:2017-06-30

    Abstract: 本发明提供:一种能够有效抑制因贴附防护膜组件(1)而引起的曝光原版(8)的变形、且不具有复杂形状的防护膜框架(2);和使用了该防护膜框架的防护膜组件。一种防护膜框架,其特征在于:在铝合金制框架的表面具有阳极氧化膜,该铝合金制框架由铝合金构成,该铝合金含有5.0~10.0质量%的Ca且剩余部分为铝和不可避免的杂质,该铝合金中作为分散相的Al4Ca相的面积(体积)率为25%以上,Al4Ca相的一部分的晶体结构是单斜晶,并且,阳极氧化膜具有Al4Ca颗粒。

    光罩护膜框及其制造方法

    公开(公告)号:CN105659163B

    公开(公告)日:2020-02-07

    申请号:CN201380080439.3

    申请日:2013-10-23

    Abstract: 本发明提供在能够防止雾产生的同时、聚光灯下的表面闪烁缺陷得到减少的光罩护膜框及其制造方法。本发明为光罩护膜框以及光罩护膜框的制造方法,其中光罩护膜框是由铝或铝合金形成的铝框材的表面上具有阳极氧化皮膜的光罩护膜框,阳极氧化皮膜包括使用碱性阳极氧化浴形成的皮膜和使用酸性阳极氧化浴形成的皮膜。

    薄膜用支承框和薄膜及其制造方法

    公开(公告)号:CN109716233A

    公开(公告)日:2019-05-03

    申请号:CN201780057899.2

    申请日:2017-08-29

    Inventor: 山口隆幸

    Abstract: 本发明提供一种薄膜用支承框及使用该薄膜用支承框的薄膜以及其有效的制造方法,所述薄膜用支承框兼具低扬尘性和高耐光性,并且即使将短波长激光用于曝光光源的情况下,也至不生成烟雾的程度将离子洗脱量降低至极限。一种薄膜用支承框,其特征在于,具有由铝或铝合金构成的框架材料、和形成于该框架材料的表面的无机系涂层,该无机系涂层的主链由-Si-O-Si-O-键构成。优选在框架框和无机系涂层之间形成阳极氧化皮膜。

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