防护膜框架和防护膜组件

    公开(公告)号:CN109416504B

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN201780042217.0

    申请日:2017-06-30

    Abstract: 本发明提供:一种能够有效抑制因贴附防护膜组件(1)而引起的曝光原版(8)的变形、且不具有复杂形状的防护膜框架(2);和使用了该防护膜框架的防护膜组件。一种防护膜框架,其特征在于:在铝合金制框架的表面具有阳极氧化膜,该铝合金制框架由铝合金构成,该铝合金含有5.0~10.0质量%的Ca且剩余部分为铝和不可避免的杂质,该铝合金中作为分散相的Al4Ca相的面积(体积)率为25%以上,Al4Ca相的一部分的晶体结构是单斜晶,并且,阳极氧化膜具有Al4Ca颗粒。

    铝合金塑性加工材料及其制造方法

    公开(公告)号:CN109477169B

    公开(公告)日:2021-03-26

    申请号:CN201780043200.7

    申请日:2017-06-30

    Abstract: 本发明提供一种低杨氏模量且屈服强度也优异的铝合金塑性加工材料及其有效的制造方法。本发明所涉及的铝合金塑性加工材料含有5.0~10.0wt%的Ca,剩余部分由铝和不可避免的杂质构成,具有以体积率计为25%以上的作为分散相的Al4Ca相。另外,Al4Ca相由四方晶的Al4Ca相和单斜晶的Al4Ca相构成,利用X射线衍射测定得到的四方晶所产生的最大衍射峰(I1)与单斜晶所产生的最大衍射峰(I2)的强度比(I1/I2)为1以下。

    光罩护膜框及其制造方法

    公开(公告)号:CN105659163B

    公开(公告)日:2020-02-07

    申请号:CN201380080439.3

    申请日:2013-10-23

    Abstract: 本发明提供在能够防止雾产生的同时、聚光灯下的表面闪烁缺陷得到减少的光罩护膜框及其制造方法。本发明为光罩护膜框以及光罩护膜框的制造方法,其中光罩护膜框是由铝或铝合金形成的铝框材的表面上具有阳极氧化皮膜的光罩护膜框,阳极氧化皮膜包括使用碱性阳极氧化浴形成的皮膜和使用酸性阳极氧化浴形成的皮膜。

    铝构件及其制造方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116457506A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202180071625.5

    申请日:2021-10-14

    Abstract: 铝构件(1)包括由铝或铝合金形成的基材(10)。铝构件(1)包括阳极氧化皮膜(20),所述阳极氧化皮膜(20)包括:阻挡层(21),与基材(10)的表面(11)接触;第一多孔层(22),和阻挡层(21)的与基材(10)为相反侧的面接触;以及第二多孔层(23),和第一多孔层(22)的与阻挡层(21)相反的面接触,且具有从与第一多孔层(22)接触的面向露出的表面(24)整齐排列并呈直线状延伸的多个孔。第一多孔层(22)具有多个分支的孔及平均孔径比第二多孔层(23)大的多个孔中的至少任一者。

    铝合金塑性加工材料及其制造方法

    公开(公告)号:CN109477169A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201780043200.7

    申请日:2017-06-30

    Abstract: 本发明提供一种低杨氏模量且屈服强度也优异的铝合金塑性加工材料及其有效的制造方法。本发明所涉及的铝合金塑性加工材料含有5.0~10.0wt%的Ca,剩余部分由铝和不可避免的杂质构成,具有以体积率计为25%以上的作为分散相的Al4Ca相。另外,Al4Ca相由四方晶的Al4Ca相和单斜晶的Al4Ca相构成,利用X射线衍射测定得到的四方晶所产生的最大衍射峰(I1)与单斜晶所产生的最大衍射峰(I2)的强度比(I1/I2)为1以下。

    耐蚀铝导电性材料及其制造方法

    公开(公告)号:CN100575554C

    公开(公告)日:2009-12-30

    申请号:CN200380110536.9

    申请日:2003-10-14

    CPC classification number: C23C4/18 C23C8/02 C23C8/16 H01G11/22 Y02E60/13

    Abstract: 本发明涉及一种耐蚀铝导电性材料,该材料是在由铝或铝合金构成的铝材的表面形成导电性被膜而成的铝导电性材料,导电性被膜的缺陷通过热水处理或水蒸汽处理被实质地封闭。本发明还涉及一种耐蚀铝导电性材料的制造方法,在该方法中,在铝材的表面形成了导电性被膜之后,通过热水处理或水蒸汽处理,实质地封闭导电性被膜的缺陷。根据本发明,不会损害铝材的优异特性,并实质地封闭在其表面形成的导电性被膜上不可避免地产生的缺陷,即使导电性被膜的膜厚薄,也能够赋予优异的耐蚀性。

    耐蚀铝导电性材料及其制造方法

    公开(公告)号:CN1860254A

    公开(公告)日:2006-11-08

    申请号:CN200380110536.9

    申请日:2003-10-14

    CPC classification number: C23C4/18 C23C8/02 C23C8/16 H01G11/22 Y02E60/13

    Abstract: 本发明涉及一种耐蚀铝导电性材料,该材料是在由铝或铝合金构成的铝材的表面形成导电性被膜而成的铝导电性材料,导电性被膜的缺陷通过热水处理或水蒸汽处理被实质地封闭。本发明还涉及一种耐蚀铝导电性材料的制造方法,在该方法中,在铝材的表面形成了导电性被膜之后,通过热水处理或水蒸汽处理,实质地封闭导电性被膜的缺陷。根据本发明,不会损害铝材的优异特性,并实质地封闭在其表面形成的导电性被膜上不可避免地产生的缺陷,即使导电性被膜的膜厚薄,也能够赋予优异的耐蚀性。

    防护膜框架和防护膜组件
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109416505B

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN201780042244.8

    申请日:2017-06-30

    Abstract: 本发明提供:一种能够有效地抑制因贴附防护膜组件(1)而引起的曝光原版(8)的变形、且不具有复杂形状的防护膜框架(2);使用该防护膜框架的防护膜组件;以及,能够降低在聚光灯下表面晃眼的缺陷、且为了容易地进行使用前的异物附着检查等而黑色化的防护膜框架的制造方法。一种防护膜框架,其特征在于:在铝合金制框架的表面具有阳极氧化膜,该铝合金制框架由铝合金构成,该铝合金含有5.0~10.0质量%的Ca且剩余部分为铝和不可避免的杂质,该铝合金中作为分散相的Al4Ca相的面积(体积)率为25%以上,该Al4Ca相的一部分的晶体结构是单斜晶,并且,分散于阳极氧化膜的Al4Ca相被阳极氧化,阳极氧化膜被黑色染料染色。

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