公开(公告)号：CN111799145A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202010217971.7

申请日：2020-03-25

申请人： 日本钨合金株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

发明人： 池田隆志 ,  石井肇 ,  藤本贤二 ,  佐藤直行 ,  长山将之 ,  村上幸一 ,  村上贵宏

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  C04B35/56 ,  C04B35/622

摘要： 本发明提供一种等离子体处理装置用部件、具备该部件的等离子体处理装置及烧结体的使用方法。等离子体处理装置用部件仅由碳化钨相构成，并且包含选自由Fe原子、Co原子及Ni原子构成的组中的至少一种原子，这些原子的含量的合计为30～3300原子ppm。

公开(公告)号：CN111799146A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202010217975.5

申请日：2020-03-25

申请人： 日本钨合金株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

发明人： 池田隆志 ,  石井肇 ,  藤本贤二 ,  佐藤直行 ,  长山将之 ,  村上幸一 ,  村上贵宏

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  C04B35/56

摘要： 本发明提供一种等离子体处理装置用部件、具备该部件的等离子体处理装置及烧结体的使用方法。等离子体处理装置用部件具有碳化钨相及副相，该副相包含选自由相I、相II、相III、相IV及相V构成的组中的至少一种，相I为将除W以外的元素周期表的第四族、第五族及第六族元素中的至少一种作为构成元素的碳化物相，相II为将除W以外的元素周期表的第四族、第五族及第六族元素中的至少一种作为构成元素的氮化物相，相III为将除W以外的元素周期表的第四族、第五族及第六族元素中的至少一种作为构成元素的碳氮化物相，相IV为碳相，相V为由WxMyCz的式表示的复合碳化物相，碳化钨相的含有比例为99体积％以上，副相的含有比例为1体积％以下，孔隙率为2体积％以下。