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公开(公告)号：CN103091520A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210439484.0
申请日：2012-11-06
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R1/06772
Abstract: 本发明提供一种具有优良高频特性且维护容易的平衡信号传输用的探针，及具备该探针的探针卡和探针装置。通过提供以下的探针块，及具备该探针块的探针卡以及探针装置来解决上述课题，所述探针具备：设有第一槽的导电性的基座构件；2根一对的信号用探针材料，其具有电介体被覆，并紧贴其电介体被覆互相平行地配置于所述第一槽内的；以及接触所述基座构件的接地用探针材料，提供；所述信号用探针材料的比所述基座构件更向被测定器件侧突出的前端部未具有所述电介体被覆并形成信号用探针，所述接地用探针材料的比所述基座构件更向被测定器件侧突出的前端部形成接地用探针的探针块，及备置该探针块的探针卡和探针装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103792482B
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201310526787.0
申请日：2013-10-30
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R31/2887 , G01R1/07378
Abstract: 检查单元、探针卡、检查装置以及检查装置用的控制系统。提供了探针卡隔着真空室与连接体一体化的检查单元。该检查单元防止了设置在探针卡上的探针的顶端的平面度在探针卡由于真空室的吸力（负压）而与连接体一体化时劣化。检查单元包括：探针卡，其在其第一表面具有探针；和连接体，其隔着第一真空室与探针卡的第二表面一体化。第一真空室形成有多个室。
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公开(公告)号：CN103792482A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201310526787.0
申请日：2013-10-30
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R31/2887 , G01R1/07378
Abstract: 检查单元、探针卡、检查装置以及检查装置用的控制系统。提供了探针卡隔着真空室与连接体一体化的检查单元。该检查单元防止了设置在探针卡上的探针的顶端的平面度在探针卡由于真空室的吸力（负压）而与连接体一体化时劣化。检查单元包括：探针卡，其在其第一表面具有探针；和连接体，其隔着第一真空室与探针卡的第二表面一体化。第一真空室形成有多个室。
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公开(公告)号：CN103091520B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201210439484.0
申请日：2012-11-06
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R1/06772
Abstract: 本发明提供一种具有优良高频特性且维护容易的平衡信号传输用的探针，及具备该探针的探针卡和探针装置。通过提供以下的探针块，及具备该探针块的探针卡以及探针装置来解决上述课题，所述探针具备：设有第一槽的导电性的基座构件；2根一对的信号用探针材料，其具有电介体被覆，并紧贴其电介体被覆互相平行地配置于所述第一槽内的；以及接触所述基座构件的接地用探针材料，提供；所述信号用探针材料的比所述基座构件更向被测定器件侧突出的前端部未具有所述电介体被覆并形成信号用探针，所述接地用探针材料的比所述基座构件更向被测定器件侧突出的前端部形成接地用探针的探针块，及备置该探针块的探针卡和探针装置。
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公开(公告)号：CN102980742B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201210306546.0
申请日：2012-08-24
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01R31/2601 , G01J2001/4247 , G01R31/2632 , G01R31/2893 , G02F1/13471
Abstract: 本发明提供一种提高扩张晶片上的发光元件的光学特性的检测效率，使每单位时间的检测个数增多的发光元件的检测装置及检测方法。本发明的课题通过以下的检测装置及采用该检测装置的检测方法来解决。该检测装置包括：晶片卡盘台，其具备多个晶片卡盘；位置测定装置，用于对被装载于各晶片卡盘上的扩张晶片上的发光元件的位置进行测定；光电检测器及探针，其与各扩张晶片分别对应地设置；以及控制装置，其具有：使晶片卡盘台在XY轴方向上移动以使各扩张晶片上的发光元件依次地来到对应的探针的下方的机构；使各探针移动以使探针来到与发光元件的电极位置相对应的位置的机构；和使探针与对应的各个发光元件的电极接触的机构。
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公开(公告)号：CN102980742A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210306546.0
申请日：2012-08-24
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01R31/2601 , G01J2001/4247 , G01R31/2632 , G01R31/2893 , G02F1/13471
Abstract: 本发明提供一种提高扩张晶片上的发光元件的光学特性的检测效率，使每单位时间的检测个数增多的发光元件的检测装置及检测方法。本发明的课题通过以下的检测装置及采用该检测装置的检测方法来解决。该检测装置包括：晶片卡盘台，其具备多个晶片卡盘；位置测定装置，用于对被装载于各晶片卡盘上的扩张晶片上的发光元件的位置进行测定；光电检测器及探针，其与各扩张晶片分别对应地设置；以及控制装置，其具有：使晶片卡盘台在XY轴方向上移动以使各扩张晶片上的发光元件依次地来到对应的探针的下方的机构；使各探针移动以使探针来到与发光元件的电极位置相对应的位置的机构；和使探针与对应的各个发光元件的电极接触的机构。
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