探测单元相对平行度调整装置

    公开(公告)号:CN102280518A

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN201110079496.2

    申请日:2011-03-23

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 本发明提供了一种探测单元相对平行度调整装置,其能够在短时间内确认探测单元相对于在带状电极的宽度方向并列设置有带状电极的板构件是否平行,并在短时间内对其平行度进行调整。本发明的探测单元相对平行度调整装置包括:对探测单元相对于板构件的平行度进行调整的倾斜度调整机构;检测探测单元和板构件之间的距离的多个传感器;传感器输出取得单元,其取得探针和带状电极相对接近并接触前后的来自各传感器的输出;调整参照信息形成单元,其根据取得的各传感器的输出,形成在探测单元的平行度调整中所参照的信息。

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