公开(公告)号：CN102081110A

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：CN201010566098.9

申请日：2010-11-25

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Inventor： 久我智昭 ,  安田贵生 ,  小笠原树理 ,  清野洋二 ,  中屋敷勇太 ,  三浦一佳 ,  赤平惠

IPC: G01R1/073

Abstract: 本发明提供一种探针装置。该探针装置尽可能地减小探针相对于探针支架的位移量之差而能够进行正确的测试。探针装置包括探针组装体，该探针组装体包括多个探针、及将这些探针配置成使其针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔并沿前后方向延伸的状态的探针支架。上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第1部位，其朝下；以及第2部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第3部位，其朝上，并能够与上述第1部位抵接；以及第4部位，其朝后，并能够与上述第2部位抵接。

公开(公告)号：CN102081110B

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201010566098.9

申请日：2010-11-25

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Inventor： 久我智昭 ,  安田贵生 ,  小笠原树理 ,  清野洋二 ,  中屋敷勇太 ,  三浦一佳 ,  赤平惠

IPC: G01R1/073

Abstract: 本发明提供一种探针装置。该探针装置尽可能地减小探针相对于探针支架的位移量之差而能够进行正确的测试。探针装置包括探针组装体，该探针组装体包括多个探针、及将这些探针配置成使其针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔并沿前后方向延伸的状态的探针支架。上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第1部位，其朝下；以及第2部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第3部位，其朝上，并能够与上述第1部位抵接；以及第4部位，其朝后，并能够与上述第2部位抵接。

公开(公告)号：CN102368079A

公开(公告)日：2012-03-07

申请号：CN201110168482.8

申请日：2011-06-17

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Inventor： 福士俊雄 ,  赤平惠 ,  清野洋二 ,  中屋敷勇太

IPC: G01R1/073

Abstract: 本发明提供一种无需缩小狭缝杆的狭缝的间距就能够以窄间距配置探针的探针组合体。在探针组合体中，具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第1狭缝的第1狭缝杆配置在支承片的顶端部下侧，具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第2狭缝的第2狭缝杆以该第2狭缝相对于第1狭缝位于左右方向和前后方向上的方式配置在第1狭缝杆上，使第1和第2狭缝杆的前部针尖区域的至少一部分分别位于第1和第2狭缝中。