公开(公告)号：CN104114097B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201380008619.0

申请日：2013-02-13

Applicant: 日立阿洛卡医疗株式会社

Inventor： 吉村保广 ,  永田达也 ,  佐光晓史

IPC: A61B8/00 ,  H04R19/00

CPC classification number: G01N29/2406 ,  A61B8/14 ,  A61B8/4444 ,  A61B8/4494 ,  A61B8/461 ,  B06B1/0292 ,  G01N2291/028 ,  G01N2291/044 ,  G01N2291/101

Abstract: 本发明提供一种特性稳定性优越的超声波探头以及使用了该超声波探头的超声波诊断装置。该超声波探头(1)具有超声波收发元件(2)，上述超声波收发元件(2)具备：基板(5)、形成于在基板(5)上的绝缘膜、形成于基板(5)与上述绝缘膜之间的空洞(17)、以及与基板(5)平行地隔着空洞(17)设置的一对电极(7、11)，超声波探头(1)的特征在于，超声波收发元件(2)在一对电极(7、11)中的远离基板(5)的电极(11)上设置有多层构造的梁部(100)，该多层构造的梁部(100)层叠由应力不同的材料构成的膜而成，梁部(100)层叠给与拉伸应力的膜和给与压缩应力的膜而成。

公开(公告)号：CN104114097A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201380008619.0

申请日：2013-02-13

Applicant: 日立阿洛卡医疗株式会社

Inventor： 吉村保广 ,  永田达也 ,  佐光晓史

IPC: A61B8/00 ,  H04R19/00

CPC classification number: G01N29/2406 ,  A61B8/14 ,  A61B8/4444 ,  A61B8/4494 ,  A61B8/461 ,  B06B1/0292 ,  G01N2291/028 ,  G01N2291/044 ,  G01N2291/101

Abstract: 本发明提供一种特性稳定性优越的超声波探头以及使用了该超声波探头的超声波诊断装置。该超声波探头(1)具有超声波收发元件(2)，上述超声波收发元件(2)具备：基板(5)、形成于在基板(5)上的绝缘膜、形成于基板(5)与上述绝缘膜之间的空洞(17)、以及与基板(5)平行地隔着空洞(17)设置的一对电极(7、11)，超声波探头(1)的特征在于，超声波收发元件(2)在一对电极(7、11)中的远离基板(5)的电极(11)上设置有多层构造的梁部(100)，该多层构造的梁部(100)层叠由应力不同的材料构成的膜而成，梁部(100)层叠给与拉伸应力的膜和给与压缩应力的膜而成。