-
公开(公告)号：CN104380206B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380025153.5
申请日：2013-05-10
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/24 , B29C33/38 , B29C59/04 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/2022 , B29C33/38 , G03F7/0002 , G03F7/24
Abstract: 在滚筒模具的表面上针对每一规定区域向圆周方向曝光掩模图案的所谓的步进与重复方法中，可提高掩模图案间的间隔精度，从而可抑制在掩模图案旋转一周时接缝偏移。为实现该目的，本发明所涉及的滚筒模具制作装置包括：掩模(3)，其具有使被照射物的一部分透过的功能；旋转驱动装置，其使滚筒模具(100)绕旋转轴旋转；旋转量检测传感器，其检测旋转量；控制装置，其发送用于调整被照射物在滚筒模具(100)的抗蚀剂上的圆周方向描画位置的控制信号；以及致动器(7)，其使掩模(3)直线状移动，在使滚筒模具(100)停止旋转的状态下将被照射物照射至规定范围，使该滚筒模具(100)旋转规定量并停止，并调整将被照射物照射至另一规定范围时的圆周方向描画位置。
-
公开(公告)号：CN103003055B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201180028829.7
申请日：2011-06-08
Applicant: 旭化成株式会社
CPC classification number: B29C33/3842 , B23K15/08 , B29C33/38 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F1/20 , G03F7/2037 , G03F7/24 , H01J37/20 , H01J37/305 , H01J37/3174 , H01J2237/20214 , H01J2237/2025 , H01J2237/20271 , H01J2237/20285
Abstract: 本发明能够一边抑制成本增加一边抑制滚筒模具的向旋转轴方向的旋转偏摆引起描画图案变得不鲜明的情况。为了实现该目的，滚筒模具制作装置（1）包括：电子束照射装置（2）；掩模（3），该掩模具有使电子束的一部分透过的开口部，以形成同时在抗蚀剂上进行描画的多束电子束；使滚筒模具（100）绕旋转轴旋转的旋转驱动装置（4）；对滚筒模具（100）的向旋转轴（8）方向的旋转偏摆位移量进行检测位移量检测传感器（5）；控制装置（6）；以及致动器（7），该致动器（7）根据来自该控制装置（6）的控制信号使电子束的描画位置与滚筒模具（100）的向旋转轴（8）方向的位移随动，抑制滚筒模具（100）的向旋转轴（8）方向的旋转偏摆位移所导致的抗蚀剂的曝光位置的偏差。
-
公开(公告)号：CN104380206A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380025153.5
申请日：2013-05-10
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/24 , B29C33/38 , B29C59/04 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/2022 , B29C33/38 , G03F7/0002 , G03F7/24
Abstract: 在滚筒模具的表面上针对每一规定区域向圆周方向曝光掩模图案的所谓的步进与重复方法中，可提高掩模图案间的间隔精度，从而可抑制在掩模图案旋转一周时接缝偏移。为实现该目的，本发明所涉及的滚筒模具制作装置包括：掩模(3)，其具有使被照射物的一部分透过的功能；旋转驱动装置，其使滚筒模具(100)绕旋转轴旋转；旋转量检测传感器，其检测旋转量；控制装置，其发送用于调整被照射物在滚筒模具(100)的抗蚀剂上的圆周方向描画位置的控制信号；以及致动器(7)，其使掩模(3)直线状移动，在使滚筒模具(100)停止旋转的状态下将被照射物照射至规定范围，使该滚筒模具(100)旋转规定量并停止，并调整将被照射物照射至另一规定范围时的圆周方向描画位置。
-
公开(公告)号：CN103003055A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201180028829.7
申请日：2011-06-08
Applicant: 旭化成株式会社
CPC classification number: B29C33/3842 , B23K15/08 , B29C33/38 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F1/20 , G03F7/2037 , G03F7/24 , H01J37/20 , H01J37/305 , H01J37/3174 , H01J2237/20214 , H01J2237/2025 , H01J2237/20271 , H01J2237/20285
Abstract: 本发明能够一边抑制成本增加一边抑制滚筒模具的向旋转轴方向的旋转偏摆引起描画图案变得不鲜明的情况。为了实现该目的，滚筒模具制作装置（1）包括：电子束照射装置（2）；掩模（3），该掩模具有使电子束的一部分透过的开口部，以形成同时在抗蚀剂上进行描画的多束电子束；使滚筒模具（100）绕旋转轴旋转的旋转驱动装置（4）；对滚筒模具（100）的向旋转轴（8）方向的旋转偏摆位移量进行检测位移量检测传感器（5）；控制装置（6）；以及致动器（7），该致动器（7）根据来自该控制装置（6）的控制信号使电子束的描画位置与滚筒模具（100）的向旋转轴（8）方向的位移随动，抑制滚筒模具（100）的向旋转轴（8）方向的旋转偏摆位移所导致的抗蚀剂的曝光位置的偏差。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.015 seconds)
