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公开(公告)号:CN111580339A
公开(公告)日:2020-08-25
申请号:CN202010166075.2
申请日:2013-03-21
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F1/64 , G03F1/62 , H01L21/027
Abstract: 具备利用一对长边部(10a)和一对短边部(10b)形成为大致矩形的框状的表膜构件框体(10)和铺展支承在该表膜构件框体(10)上的表膜(11),上述边部的长边宽度/长边长度的比例为0.3%以上2.2%以下,上述边部的短边宽度/短边长度的比例为0.3%以上3.8%以下,长边部(10a)和短边部(10b)中的至少一边部向表膜构件框体(10)的外侧鼓出。而且,在该鼓出的边部朝向表膜构件框体(10)的内侧发生了弹性变形的状态下,表膜(11)粘贴在表膜构件框体(10)上。
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公开(公告)号:CN104204943B
公开(公告)日:2020-04-03
申请号:CN201380015496.3
申请日:2013-03-21
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 具备利用一对长边部(10a)和一对短边部(10b)形成为大致矩形的框状的表膜构件框体(10)和铺展支承在该表膜构件框体(10)上的表膜(11),上述边部的长边宽度/长边长度的比例为0.3%以上2.2%以下,上述边部的短边宽度/短边长度的比例为0.3%以上3.8%以下,长边部(10a)和短边部(10b)中的至少一边部向表膜构件框体(10)的外侧鼓出。而且,在该鼓出的边部朝向表膜构件框体(10)的内侧发生了弹性变形的状态下,表膜(11)粘贴在表膜构件框体(10)上。
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