公开(公告)号：CN111580339A

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN202010166075.2

申请日：2013-03-21

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 岩村贤一郎 ,  内村洋文 ,  塚本雅弘 ,  广濑隆德 ,  平野政胜

IPC: G03F1/64 ,  G03F1/62 ,  H01L21/027

Abstract: 具备利用一对长边部(10a)和一对短边部(10b)形成为大致矩形的框状的表膜构件框体(10)和铺展支承在该表膜构件框体(10)上的表膜(11)，上述边部的长边宽度/长边长度的比例为0.3％以上2.2％以下，上述边部的短边宽度/短边长度的比例为0.3％以上3.8％以下，长边部(10a)和短边部(10b)中的至少一边部向表膜构件框体(10)的外侧鼓出。而且，在该鼓出的边部朝向表膜构件框体(10)的内侧发生了弹性变形的状态下，表膜(11)粘贴在表膜构件框体(10)上。

公开(公告)号：CN104204943B

公开(公告)日：2020-04-03

申请号：CN201380015496.3

申请日：2013-03-21

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 岩村贤一郎 ,  内村洋文 ,  塚本雅弘 ,  广濑隆德 ,  平野政胜

IPC: G03F1/64 ,  G03F1/62

Abstract: 具备利用一对长边部(10a)和一对短边部(10b)形成为大致矩形的框状的表膜构件框体(10)和铺展支承在该表膜构件框体(10)上的表膜(11)，上述边部的长边宽度/长边长度的比例为0.3％以上2.2％以下，上述边部的短边宽度/短边长度的比例为0.3％以上3.8％以下，长边部(10a)和短边部(10b)中的至少一边部向表膜构件框体(10)的外侧鼓出。而且，在该鼓出的边部朝向表膜构件框体(10)的内侧发生了弹性变形的状态下，表膜(11)粘贴在表膜构件框体(10)上。

公开(公告)号：CN207488699U

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201721493168.6

申请日：2017-11-10

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 广濑隆德 ,  栗山芳真

IPC: G03F1/82

Abstract: 本实用新型提供在从收纳容器取出时能够可靠地将保护膜从粘合层剥离的护罩构造体以及护罩收纳体。护罩构造体(1)包括框体(2)、护罩膜(3)以及保护膜(4)。框体在主视时的外形为矩形，在其背面侧端面具有粘合层(24)。护罩膜设在框体的正面侧端面，覆盖框体的内部。保护膜具有粘贴在粘合层来保护粘合层的保护部(41)和与保护部设置为一体的多个余边(5)。多个余边形成为朝向框体的外部延伸。多个余边中的至少1个余边具有：基端部(51)，其端部(511)与保护部相连接；以及锚部(52)，其与基端部的端部(512)相连接。锚部的宽度(W2)大于基端部的宽度(W1)。