公开(公告)号：CN109690404B

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN201780055093.X

申请日：2017-12-05

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 松田隆之 ,  西泽豪 ,  宫崎纯

IPC: G03F7/09 ,  G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  G03F7/20 ,  H05K3/00

Abstract: 提供即使曝光时的焦点偏移时也表现出高分辨性和良好的线宽重现性的感光性树脂层叠体。感光性树脂层叠体具备：支承薄膜、和形成于该支承薄膜上并包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，其中，在支承薄膜的任意10处切出一边5mm的正方形小片时，各小片中所含的1.5μm以上且小于4.5μm的微粒的数量以所述10处平均计为0～200个。

公开(公告)号：CN109690404A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201780055093.X

申请日：2017-12-05

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 松田隆之 ,  西泽豪 ,  宫崎纯

IPC: G03F7/09 ,  G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  G03F7/20 ,  H05K3/00

Abstract: 提供即使曝光时的焦点偏移时也表现出高分辨性和良好的线宽重现性的感光性树脂层叠体。感光性树脂层叠体具备：支承薄膜、和形成于该支承薄膜上并包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，其中，在支承薄膜的任意10处切出一边5mm的正方形小片时，各小片中所含的1.5μm以上且小于4.5μm的微粒的数量以所述10处平均计为0～200个。