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公开(公告)号：CN115642103B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211652714.1
申请日：2022-12-22
申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司
摘要： 本发明提供一种光学检测设备及系统，涉及晶圆检测技术领域，光学检测设备包括主传输机构、及设于主传输机构上方的检测机构，检测机构包括多个检测单元，相邻两检测单元沿主传输机构的传输方向间隔设置、沿主传输机构的垂直方向交叉设置；检测单元包括倾斜设置的光学检测组件，相邻两光学检测组件的横向检测范围存在交集、以使检测阵列的横向检测范围能够完全覆盖设于主传输机构上的晶圆；当晶圆经过光学检测组件时，光学检测组件扫描晶圆以完成晶圆检测。上述光学检测设备及系统，通过设置多个检测单元组成检测阵列及将检测单元倾斜设置，提高了检测质量和精度，解决了现有技术中的晶圆的检测容易出现检测不充分及检测精度不足的技术问题。
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公开(公告)号：CN115082391A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210667124.X
申请日：2022-06-13
申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种晶圆反射率确定方法及相关设备。该方法包括：获取待测晶圆的目标亮场图像；基于上述目标亮场图像和其对应的目标暗场图像获取目标反射率计算图像，其中，上述目标亮场图像和上述目标暗场图像包括相同的目标曝光时间；基于上述目标反射率计算图像、上述目标曝光时间和参考样反射率信息确定上述待测晶圆对应的目标反射率，其中，上述参考样反射率信息包括参考反射率计算图像、参考曝光时间和参考反射率。本方法减少了晶圆反射率测试时的计算量，更加简便，快捷，同时有效地消除了系统误差和环境因素造成的影响，更加准确。
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公开(公告)号：CN115082391B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202210667124.X
申请日：2022-06-13
申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种晶圆反射率确定方法及相关设备。该方法包括：获取待测晶圆的目标亮场图像；基于上述目标亮场图像和其对应的目标暗场图像获取目标反射率计算图像，其中，上述目标亮场图像和上述目标暗场图像包括相同的目标曝光时间；基于上述目标反射率计算图像、上述目标曝光时间和参考样反射率信息确定上述待测晶圆对应的目标反射率，其中，上述参考样反射率信息包括参考反射率计算图像、参考曝光时间和参考反射率。本方法减少了晶圆反射率测试时的计算量，更加简便，快捷，同时有效地消除了系统误差和环境因素造成的影响，更加准确。
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公开(公告)号：CN115642103A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211652714.1
申请日：2022-12-22
申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司
摘要： 本发明提供一种光学检测设备及系统，涉及晶圆检测技术领域，光学检测设备包括主传输机构、及设于主传输机构上方的检测机构，检测机构包括多个检测单元，相邻两检测单元沿主传输机构的传输方向间隔设置、沿主传输机构的垂直方向交叉设置；检测单元包括倾斜设置的光学检测组件，相邻两光学检测组件的横向检测范围存在交集、以使检测阵列的横向检测范围能够完全覆盖设于主传输机构上的晶圆；当晶圆经过光学检测组件时，光学检测组件扫描晶圆以完成晶圆检测。上述光学检测设备及系统，通过设置多个检测单元组成检测阵列及将检测单元倾斜设置，提高了检测质量和精度，解决了现有技术中的晶圆的检测容易出现检测不充分及检测精度不足的技术问题。
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