-
公开(公告)号：CN115410884A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210924128.1
申请日：2022-08-02
Applicant: 昆山国显光电有限公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J37/317
Abstract: 本申请公开了一种磁分析器以及离子注入机，磁分析器包括离子束通道，离子束通道包括飞行区以及合围形成飞行区的第一内壁与顶壁，离子束通道包括第一隔板，第一隔板设置于第一内壁和飞行区之间；其中，第一隔板设置有多个第一通孔，第一隔板和第一内壁之间形成容纳空间。本申请不仅能够大幅降低污染颗粒被携带出磁分析器的几率，继而有效避免离子注入工艺失效，还能极大延长人工维护周期或备件更换周期，从而有效降低维护成本。
Search Results
1
records
(took 0.032 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
