公开(公告)号：CN102427061B

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN201110419047.8

申请日：2011-12-15

申请人： 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司

发明人： 王磊 ,  邱勇 ,  黄秀颀 ,  李建文 ,  费国东

IPC分类号： H01L21/77

摘要： 本发明公开了一种有源矩阵有机发光显示器的阵列基板制造方法，包括如下步骤：提供一衬底；在衬底上形成TFT；接着在上述衬底上方继续沉积钝化层覆盖源极电极及漏极电极；在钝化层上形成光刻胶层进行蚀刻，形成暴露源极电极或漏极电极的第一接触孔并去除剩余光刻胶层；接下来继续在第一接触孔上形成光敏性或者蚀刻型有机平坦化层，对有机平坦化层进行曝光，曝光掩膜为区域透光式掩膜，第一接触孔的位置为全曝光，像素电极区域A为半曝光，其余区域为不曝光；最后，在衬底的整个表面形成像素电极。本发明提供的有源矩阵有机发光显示器的阵列基板制造方法，将现有的两次平坦化工艺减少为一次平坦化层工艺，减少了一次掩膜工艺，可有效降低成本。

公开(公告)号：CN101921064A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN201010177724.5

申请日：2010-05-20

申请人： 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司

发明人： 王磊 ,  邱勇 ,  黄秀颀 ,  高孝裕 ,  魏朝刚

IPC分类号： C03C17/00

摘要： 本发明涉及一种用于制造平板显示器的夹具，特别涉及一种镀膜机台用的夹具。本发明所述的夹具，包括夹头、固定基座和夹颈，夹头下方还有一夹舌，夹头前端上方具有一翘起部。本发明技术方案减少了镀膜沉积瘤对玻璃基板的接触挤压，避免了玻璃基板缺角与破片的风险。

公开(公告)号：CN101921064B

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201010177724.5

申请日：2010-05-20

申请人： 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司

发明人： 王磊 ,  邱勇 ,  黄秀颀 ,  高孝裕 ,  魏朝刚

IPC分类号： C03C17/00

摘要： 本发明涉及一种用于制造平板显示器的夹具，特别涉及一种镀膜机台用的夹具。本发明所述的夹具，包括夹头、固定基座和夹颈，夹头下方还有一夹舌，夹头前端上方具有一翘起部。本发明技术方案减少了镀膜沉积瘤对玻璃基板的接触挤压，避免了玻璃基板缺角与破片的风险。

公开(公告)号：CN102427061A

公开(公告)日：2012-04-25

申请号：CN201110419047.8

申请日：2011-12-15

申请人： 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司

发明人： 王磊 ,  邱勇 ,  黄秀颀 ,  李建文 ,  费国东

IPC分类号： H01L21/77

摘要： 本发明公开了一种有源矩阵有机发光显示器的阵列基板制造方法，包括如下步骤：提供一衬底；在衬底上形成TFT；接着在上述衬底上方继续沉积钝化层覆盖源极电极及漏极电极；在钝化层上形成光刻胶层进行蚀刻，形成暴露源极电极或漏极电极的第一接触孔并去除剩余光刻胶层；接下来继续在第一接触孔上形成光敏性或者蚀刻型有机平坦化层，对有机平坦化层进行曝光，曝光掩膜为区域透光式掩膜，第一接触孔的位置为全曝光，像素电极区域A为半曝光，其余区域为不曝光；最后，在衬底的整个表面形成像素电极。本发明提供的有源矩阵有机发光显示器的阵列基板制造方法，将现有的两次平坦化工艺减少为一次平坦化层工艺，减少了一次掩膜工艺，可有效降低成本。

公开(公告)号：CN101921989A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN201010213604.6

申请日：2010-06-30

申请人： 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司

发明人： 王磊 ,  邱勇 ,  黄秀颀 ,  高孝裕 ,  魏朝刚

IPC分类号： C23C14/35

摘要： 本发明涉及一种用于改进溅射工艺用靶材的方法，特别涉及一种可提高磁控物理溅射中靶材利用率的方法。本发明根据现有平面靶材不同区域的材料消耗规律对靶材进行模块化设计，可以显著提高磁控物理溅射中的靶材利用率。

公开(公告)号：CN201694951U

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN201020197132.5

申请日：2010-05-20

申请人： 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司

发明人： 王磊 ,  邱勇 ,  黄秀颀 ,  高孝裕 ,  魏朝刚

IPC分类号： C03C17/00

摘要： 本实用新型涉及一种用于制造平板显示器的夹具，特别涉及一种镀膜机台用的夹具。本实用新型所述的夹具，包括夹头、固定基座和夹颈，夹头下方还有一夹舌，夹头前端上方具有一翘起部。本实用新型技术方案减少了镀膜沉积瘤对玻璃基板的接触挤压，避免了玻璃基板缺角与破片的风险。

公开(公告)号：CN201829474U

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN201020197123.6

申请日：2010-05-20

申请人： 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司

发明人： 王磊 ,  邱勇 ,  黄秀颀 ,  高孝裕 ,  魏朝刚

IPC分类号： H01L21/70 ,  H01L27/00

摘要： 本实用新型涉及一种用于制造平板显示器的夹具，特别涉及一种镀膜机台用的夹具。本实用新型所述的夹具，包括夹头、固定基座和夹颈，夹头下方还有一夹舌，夹头前端上方具有一翘起部。本实用新型技术方案减少了镀膜沉积瘤对玻璃基板的接触挤压，避免了玻璃基板缺角与破片的风险。