ELA不均匀性的量化判断方法及其反馈系统

    公开(公告)号:CN103219229B

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201310104614.X

    申请日:2013-03-28

    发明人: 魏博 邱勇 李俊峰

    IPC分类号: H01L21/268 H01L21/67

    摘要: 本发明公开了一种激光晶化工艺(ELA)不均匀性的量化判断方法及其反馈系统,该系统主要包括:探测装置,用于检测多晶硅少数载流子寿命;计算评级模块,用于收集检测数据,计算并分类统计结果;反馈调节模块,用于收集评级结果并控制激光晶化设备的自动调整。利用本发明的量化判断方法及其反馈系统,不但能够对多晶硅不均匀性(多晶硅mura)进行量化判断,还能够将检测评判结果通过反馈系统反馈给工艺设备,进行及时调整,以减少产品损失和提高良率。

    ELA不均匀性的量化判断方法及其反馈系统

    公开(公告)号:CN103219229A

    公开(公告)日:2013-07-24

    申请号:CN201310104614.X

    申请日:2013-03-28

    发明人: 魏博 邱勇 李俊峰

    IPC分类号: H01L21/268 H01L21/67

    摘要: 本发明公开了一种激光晶化工艺(ELA)不均匀性的量化判断方法及其反馈系统,该系统主要包括:探测装置,用于检测多晶硅少数载流子寿命;计算评级模块,用于收集检测数据,计算并分类统计结果;反馈调节模块,用于收集评级结果并控制激光晶化设备的自动调整。利用本发明的量化判断方法及其反馈系统,不但能够对多晶硅不均匀性(多晶硅mura)进行量化判断,还能够将检测评判结果通过反馈系统反馈给工艺设备,进行及时调整,以减少产品损失和提高良率。

    一种多功能螺丝刀
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203185222U

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201320157983.0

    申请日:2013-04-01

    IPC分类号: B25B15/02 B25B23/16 B25B23/00

    摘要: 本实用新型公开了一种多功能螺丝刀,属于机械工具技术领域,其包括刀柄(1),以及可拆卸连接于所述刀柄(1)上的刀杆(2);所述刀柄(1)沿与所述刀杆(2)呈大于0°且小于180°的方向上开设若干插孔(5),所述插孔用于插接备用刀杆(3)。该实用新型解决了现有技术中螺丝刀功能单一,力臂不能变化的技术问题。

    有机发光显示像素及包含该像素的显示器

    公开(公告)号:CN203192337U

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201320187208.X

    申请日:2013-04-15

    IPC分类号: G09F9/33

    摘要: 本实用新型公开了一种有机发光显示像素及包含该像素的显示器。该像素包括升压电容器和存储电容器,所述升压电容器和存储电容器中电容值相对较大的电容器的至少一电极的边缘形成有直线折弯。本实用新型在升压电容器和存储电容器中电容值相对较大的电容器的至少一电极的边缘形成有直线折弯。由此,增加了大电容图形的周长,并经过精确计算,可以使得升压电容器与存储电容器的周长比值与面积比值相同。那么在相同的工艺条件下,直线折弯的变化量将与电容器电极边缘的变化量保持一致,保持电容比值的稳定,从而减少了显示不均匀问题,提高了显示器的品质。