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公开(公告)号:CN114709282A
公开(公告)日:2022-07-05
申请号:CN202210088643.0
申请日:2022-01-25
申请人: 昆明物理研究所
IPC分类号: H01L31/0352 , H01L31/0304 , H01L31/103 , H01L31/18
摘要: 本发明涉及一种光伏型InAsSb长波红外探测器材料、制备方法及红外探测器,属于红外探测器技术领域。所述材料结构为InAs衬底、n型InAsSb层和p型InAsSb层构成的pn结构,结构简单,制备难度低,n型InAsSb层厚度大,可有效抑制晶格失配。所述制备方法只需在InAs衬底上生长n型InAsSb层,再通过离子注入或扩散掺杂元素形成p型InAsSb层,即可形成pn结。所述方法简单、可行且成本低,且制备的n型InAsSb层厚度大,可有效抑制晶格失配。所述红外探测器,通过在所述材料的基础上,制备台面,然后生长钝化膜及金属电极制得,比光导型长波红外探测器具有更高的探测灵敏度。
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公开(公告)号:CN217306524U
公开(公告)日:2022-08-26
申请号:CN202220226768.0
申请日:2022-01-25
申请人: 昆明物理研究所
IPC分类号: H01L31/0352 , H01L31/0304 , H01L31/103 , H01L31/18
摘要: 本实用新型涉及一种光伏型InAsSb长波红外探测器材料及红外探测器,属于红外探测器技术领域。所述材料结构为InAs衬底、n型InAsSb层和p型InAsSb层构成的pn结构,结构简单,制备难度低,n型InAsSb层厚度大,可有效抑制晶格失配。采用所述材料的光伏型InAsSb长波红外探测器比光导型长波红外探测器具有更高的探测灵敏度。
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