公开(公告)号：CN101871817B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200910094401.7

申请日：2009-04-27

申请人： 昆明物理研究所

发明人： 杨瑞宇 ,  刘黎明 ,  莫镜辉 ,  杨培志 ,  赵鲁生 ,  苏海樱 ,  康蓉

IPC分类号： G01J5/10 ,  G01J5/02 ,  B81B7/02 ,  B81C5/00 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00

摘要： 一种混成式热释电非制冷红外焦平面探测器及其制造工艺，其特征在于制备探测器红外敏感元阵列的钛酸锶钡材料的厚度采用减薄结构，红外敏感元阵列采用横向热隔离网格化结构，有机红外吸收薄膜采用利用探测器芯片的金膜上电极制备的红外高吸收系数薄膜。其制造工艺包括基于探测器芯片上的工艺，基于读出电路芯片上的工艺和非制冷红外焦平面探测器系统集成工艺三个部分。本发明能使非制冷焦平面探测器的响应率、探测率、面阵规模和红外吸收系数得到大幅提升，达到消防等民用红外热像仪的性能指标要求。

公开(公告)号：CN101871817A

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：CN200910094401.7

申请日：2009-04-27

申请人： 昆明物理研究所

发明人： 杨瑞宇 ,  刘黎明 ,  莫镜辉 ,  杨培志 ,  赵鲁生 ,  苏海樱 ,  康蓉

IPC分类号： G01J5/10 ,  G01J5/02 ,  B81B7/02 ,  B81C5/00 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00

摘要： 一种混成式热释电非制冷红外焦平面探测器及其制造工艺，其特征在于制备探测器红外敏感元阵列的钛酸锶钡材料的厚度采用减薄结构，红外敏感元阵列采用横向热隔离网格化结构，有机红外吸收薄膜采用利用探测器芯片的金膜上电极制备的红外高吸收系数薄膜。其制造工艺包括基于探测器芯片上的工艺，基于读出电路芯片上的工艺和非制冷红外焦平面探测器系统集成工艺三个部分。本发明能使非制冷焦平面探测器的响应率、探测率、面阵规模和红外吸收系数得到大幅提升，达到消防等民用红外热像仪的性能指标要求。