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公开(公告)号：CN111005004A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911284691.1
申请日：2019-12-13
申请人： 昆明理工大学
摘要： 本发明公开一种利用甲醇-氩气制备纳米金刚石膜的方法，该方法步骤为：(1)将单面抛光的P型硅片进行表面缺陷化预处理；(2)将硅基片放入微波等离子体化学气相沉积设备的反应腔体，并调节腔体压强；(3)通入高纯氢气并激发等离子体加热硅片，去除表面有机物及杂质后缓慢降低氢气流量直至关闭；(4)氩气流经甲醇溶液扩散源后形成甲醇-氩气混合气体进入反应腔体；(5)调节反应工艺参数形成等离子体，开始在硅片上沉积纳米金刚石膜。采用微波等离子化学气相沉积法制备纳米级金刚石膜，完全避免了易燃易爆气体的使用，在无氢气直接参与的条件下成功制备出纳米级金刚石膜，降低了纳米金刚石膜的制备成本，极大保证了制备过程中的实验安全。
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公开(公告)号：CN113529050B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202110757175.7
申请日：2021-07-05
IPC分类号： C23C16/27 , C23C16/511 , C23C16/56
摘要： 本发明公开了一种用于金刚石膜抛光的等离子体刻蚀法及其产品，属于金刚石膜制备与抛光技术领域。本发明采用微波化学气相沉积法沉积出初始金刚石膜，初始金刚石膜沉积完成后进行微波等离子体刻蚀，获得金刚石膜。本发明采用无接触法对金刚石膜抛光，选择性刻蚀(111)晶面锥顶，大幅度降低金刚石膜表面的粗糙度，可用于对金刚石膜光学镜头、热沉积金刚石膜等器件的抛光，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN113088921A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110392429.X
申请日：2021-04-13
申请人： 昆明理工大学
IPC分类号： C23C16/27 , C23C16/511 , C23C14/16 , C23C14/35 , C23C16/56
摘要： 本发明公开了一种多孔金刚石膜/三维碳纳米线网络复合材料的制备方法及其产品，属于金刚石膜复合材料制备技术领域；所述制备方法包括：在硅衬底上沉积出金刚石膜；然后采用磁控溅射法，在所得金刚石膜表面溅射一层过渡金属膜；之后将磁控溅射处理后的金刚石膜置于微波化学气相沉积系统中，进行微波等离子体刻蚀即得所述复合材料；本发明将金刚石膜的多孔处理与其复合材料制备合二为一，在金刚石膜表面原位制备出的多孔金刚石膜/三维碳纳米线网络复合材料具有高比表面积、良好的导电性和多位点的优势，在药物负载、化学催化、传感器等领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN110514006B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN201910800496.3
申请日：2019-08-28
申请人： 昆明理工大学
摘要： 本发明公开一种带翻料功能的微波管式炉，包括炉体和炉管，电机的输出轴安装有主动磁力轮，炉管内设置有从动磁力轮和传动轴，传动轴一端与从动磁力轮连接，另一端与翻料装置连接，翻料装置包括物料舟，物料舟内设置有支撑柱，支撑柱两端分别与第一端盖和第二端盖连接，第一端盖和第二端盖上设有通气孔，第一端盖和第二端盖与物料舟间隙配合，支撑柱与物料舟之间形成间隙。本发明采用磁力轮进行传动，通过传动轴连接磁力轮和翻料装置，在炉管不旋转的前提下，实现物料舟内物料的翻转，保证炉管具有良好的气密性，通过在端盖上设置通气孔，并在两端盖之间插接支撑柱，利用支撑柱对物料舟内的物料进行翻料，使物料能够与气氛气体充分接触。
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公开(公告)号：CN113524001A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110863732.3
申请日：2021-07-29
申请人： 昆明理工大学
摘要： 本发明提供一种对沉积金刚石膜的基底预处理时的控制压力装置，包括固定机构、升降机构和调压机构；固定机构包括第一立柱，第一立柱顶部侧壁固接有第一固定块，第一固定块下方设置有第二固定块，第二固定块与第一立柱滑接；第二固定块上固接有若干调平部，若干调平部呈周向等距分布；第一立柱内固接有第一电机，第一电机与第二固定块传动连接；升降机构包括固接在第一立柱顶端的第二立柱，第二立柱远离第一固定块的一侧滑接有移动架，调压机构固接在移动架上；移动架上固接有第二电机，第二电机与第二立柱传动连接。使基底在与抛光机的摩擦过程中受到稳定均匀而持续的作用力，基底的每部分受到均匀处理大大提高了基底的预处理成功率。
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公开(公告)号：CN111005010B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201911310594.5
申请日：2019-12-18
申请人： 昆明理工大学
摘要： 本发明公开一种纳米金刚石金属化薄膜的制备方法、产品及应用，具体通过以下方法制备得到：采用化学刻蚀的方法，在硅衬底上制备多孔金刚石薄膜；将制备得到金刚石薄膜与金属氧化物的凝胶，均匀旋涂，形成致密薄膜，干燥，制得多孔纳米金刚石/氧化物复合薄膜，本发明针对纳米金刚石薄膜形成多孔结构之后造成的导电性与活性位点的下降问题，对纳米金刚石薄膜进行合理的后期处理，有效地得到了金属化的多孔纳米金刚石薄膜材料。
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公开(公告)号：CN111005010A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911310594.5
申请日：2019-12-18
申请人： 昆明理工大学
摘要： 本发明公开一种纳米金刚石金属化薄膜的制备方法、产品及应用，具体通过以下方法制备得到：采用化学刻蚀的方法，在硅衬底上制备多孔金刚石薄膜；将制备得到金刚石薄膜与金属氧化物的凝胶，均匀旋涂，形成致密薄膜，干燥，制得多孔纳米金刚石/氧化物复合薄膜，本发明针对纳米金刚石薄膜形成多孔结构之后造成的导电性与活性位点的下降问题，对纳米金刚石薄膜进行合理的后期处理，有效地得到了金属化的多孔纳米金刚石薄膜材料。
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公开(公告)号：CN113186510B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN202110468161.3
申请日：2021-04-28
申请人： 昆明理工大学
IPC分类号： C23C16/27 , C23C16/511 , C23C16/02 , C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/08 , C23C14/58 , C23C28/00
摘要： 本发明公开了一种金属强化多孔金刚石膜及其制备方法，属于金刚石膜技术领域。本发明通过采用微波化学气相沉积技术，沉积出纳米或微米级金刚石膜，采用磁控溅射的方法在金刚石膜的表面，溅射一层氧化物，之后放入微波化学气相沉积系统中，用氢氩或氢等离子对其刻蚀，之后放入硝酸钠溶液中加热，对金刚石膜进一步刻蚀，并除去等离子刻蚀时产生的非金刚石相及金属纳米颗粒，再次磁控溅射铂、金等贵金属单质，最后放入微波化学气相沉积系统中将贵金属分散，得到形态较好的金属强化多孔金刚石膜。本发明方法简单、易于操作，制备的金刚石膜表面的多孔结构，并且填充的贵金属是良好的催化剂，在化学催化、传感器等领域具有广泛应用前景。
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公开(公告)号：CN113088921B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202110392429.X
申请日：2021-04-13
申请人： 昆明理工大学
IPC分类号： C23C16/27 , C23C16/511 , C23C14/16 , C23C14/35 , C23C16/56
摘要： 本发明公开了一种多孔金刚石膜/三维碳纳米线网络复合材料的制备方法及其产品，属于金刚石膜复合材料制备技术领域；所述制备方法包括：在硅衬底上沉积出金刚石膜；然后采用磁控溅射法，在所得金刚石膜表面溅射一层过渡金属膜；之后将磁控溅射处理后的金刚石膜置于微波化学气相沉积系统中，进行微波等离子体刻蚀即得所述复合材料；本发明将金刚石膜的多孔处理与其复合材料制备合二为一，在金刚石膜表面原位制备出的多孔金刚石膜/三维碳纳米线网络复合材料具有高比表面积、良好的导电性和多位点的优势，在药物负载、化学催化、传感器等领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN113524001B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202110863732.3
申请日：2021-07-29
申请人： 昆明理工大学
摘要： 本发明提供一种对沉积金刚石膜的基底预处理时的控制压力装置，包括固定机构、升降机构和调压机构；固定机构包括第一立柱，第一立柱顶部侧壁固接有第一固定块，第一固定块下方设置有第二固定块，第二固定块与第一立柱滑接；第二固定块上固接有若干调平部，若干调平部呈周向等距分布；第一立柱内固接有第一电机，第一电机与第二固定块传动连接；升降机构包括固接在第一立柱顶端的第二立柱，第二立柱远离第一固定块的一侧滑接有移动架，调压机构固接在移动架上；移动架上固接有第二电机，第二电机与第二立柱传动连接。使基底在与抛光机的摩擦过程中受到稳定均匀而持续的作用力，基底的每部分受到均匀处理大大提高了基底的预处理成功率。
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