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公开(公告)号:CN118047381A
公开(公告)日:2024-05-17
申请号:CN202410163680.2
申请日:2024-02-05
Applicant: 昆明理工大学
IPC: C01B33/035
Abstract: 本发明涉及电子级多晶硅生产制备技术领域,公开一种降低电子级多晶硅中杂质硼含量的方法,该方法包括:加热硅棒的同时通入气相,所述气相包括H2和含有痕量BC l3杂质的Si HCl3;当通入含有痕量BC l3杂质的SiHC l3时,控制所述气相升温至400‑600℃;当气相温度升高至设定温度时加快硅棒升温速率,将还原炉温度升高至950‑1200℃,并维持硅棒表面所述气相温度为950‑1200℃;通入含有痕量BC l3杂质的SiHC l3时间为100‑105h,总生产时间为110‑120h,全程通入H2。该方法通过三个阶段的温度控制和气体流量控制,实现了对多晶硅生产过程的精确控制,避免了硼杂质的过度引入,同时优化了还原炉的能耗和生产效率。
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公开(公告)号:CN118062889A
公开(公告)日:2024-05-24
申请号:CN202410140955.0
申请日:2024-02-01
Applicant: 昆明理工大学
Abstract: 本发明涉及纳米材料技术领域,公开了一种超声赋能‑微液氧化制备超细氧化锑的方法及系统,其方法包括:(1)将锑源置于液化炉中,升高温度熔化成锑液,所述锑液由熔体泵稳定进入雾化器;(2)在所述锑液流经雾化器管道时,对所述锑液进行超声赋能,赋能后,在雾化器的作用下将所述锑液雾化成微液,随后进入雾化塔中;(3)所述微液从所述加热区进入所述雾化塔,所述微液与流经预热区的高速热风对冲氧化,氧化后的所述微液随所述热风挥发进入冷却区冷却,得到氧化锑,随后进行收尘,得纳米氧化锑。本发明的生产设备简单;产量大、效率高;氧化锑粒度细、分布均匀;球形度好。
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