公开(公告)号：CN101890498A

公开(公告)日：2010-11-24

申请号：CN201010207876.5

申请日：2010-06-24

Applicant: 昆明理工大学

Inventor： 周晓龙 ,  曹建春 ,  陈敬超 ,  阮进 ,  于杰 ,  熊大明 ,  杜焰

IPC: B22F3/16 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明是一种CuAlO2靶材的制备方法。将Cu2O粉、Al2O3粉按照摩尔比为1∶1进行配料；或CuO粉、Al2O3粉、Cu粉按照摩尔比为1∶1∶1进行配料；装入球磨罐中进行机械合金化处理，球磨时间8-20小时，将处理好的粉料装入塑胶模具中，再采用压制压力200MPa、保压3-5分钟进行冷等静压成形；成形好的素坯进行无压氧气氛烧结，获得CuAlO2靶材。该方法增强了原料颗粒表面的活性及原料颗粒接触面的新鲜度，使靶材成形密度和烧结密度得到进一步提高；并通过控制烧结炉炉膛的氧分压，抑制了CuAlO2靶材在特定烧结温度条件下的分解，最终获得致密的高于99.6％、具有高导电性能的CuAlO2靶材。具有烧结设备简单，成本低，易控制，生产清洁等优点。