一种微热板及其制作方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119706733A

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN202411925525.6

    申请日:2024-12-25

    Abstract: 本发明属于微电子机械系统(MEMS)的气体传感器技术领域,尤其涉及一种微热板及其制作方法,微热板包括:衬底,衬底的顶面设置有绝缘层,衬底上周向等间隔开设有多个镂空结构,相邻两镂空结构之间形成悬臂梁,镂空结构贯穿绝缘层,绝缘层的顶面上集成有加热电极、插齿电极以及测温电极,加热电极、插齿电极以及测温电极均位于多个镂空结构的外侧,加热电极、插齿电极以及测温电极的引脚分别通过多个悬臂梁且位于多个镂空结构的内侧,镂空结构的边角处设置为圆角。本发明的微热板响应速度快,功耗低,结构稳定,使用寿命长,耐受性高。

    一种微波水热法生长硫化钯纳米颗粒气敏材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN119643657A

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202411827337.X

    申请日:2024-12-12

    Abstract: 本发明公开一种微波水热法生长硫化钯纳米颗粒气敏材料及其制备方法和应用,属于纳米材料与电子器件技术领域。该硫化钯纳米颗粒气敏材料由带有电极的衬底层和气体敏感层组成;其中,所述气体敏感层由硫化钯纳米颗粒制备得到。具体制备方法包括以下步骤:将氯钯酸和硫脲作为前驱体,在微波水热条件下发生化学反应生成硫化钯纳米颗粒,将硫化钯纳米颗粒与乙醇混合后涂覆在经过预处理的衬底材料上形成气体敏感膜,得到硫化钯纳米颗粒气敏材料。该材料具有较高的气体灵敏度和选择性,可以在NO2气体传感器应用中发挥作用。

    一种硫化钯复合二硫化钼分级纳米结构基二氧化氮传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119666937A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202411830552.5

    申请日:2024-12-12

    Abstract: 本发明提出了一种硫化钯复合二硫化钼分级纳米结构基二氧化氮传感器及其制备方法,属于传感器技术与复合纳米材料技术领域。本发明的传感器包括衬底和负载于衬底上的气敏层,其中所述气敏层为硫化钯‑二硫化钼复合纳米材料,硫化钯‑二硫化钼复合纳米材料中PdS纳米颗粒团簇镶嵌在MoS2纳米花的表面,PdS与MoS2形成异质结,提高了载流子的分离与传输速率,从而提高二氧化氮传感器的气敏性能,使得二氧化氮传感器对于ppm级别浓度的NO2具有较高的响应值和较快的响应恢复时间。

    一种原位生长Ti3C2Tx-二氧化钛异质界面材料的方法及应用

    公开(公告)号:CN119774614A

    公开(公告)日:2025-04-08

    申请号:CN202411661547.6

    申请日:2024-11-20

    Abstract: 本发明公开了一种原位生长Ti3C2Tx‑二氧化钛异质界面材料的方法及应用,属于二维复合材料及气体传感器技术领域,本发明以含氟化合物的盐酸溶液为刻蚀溶剂,采用水热法刻蚀Ti3AlC2制备Ti3C2Tx材料(Tx=‑F、‑OH和‑O),在低功率下对Ti3C2Tx材料进行氧微波等离子体处理,同时控制氧气的体积分数为10‑30%,可以使得Ti3C2Tx材料部分氧化为二维片状TiO2氧化物,二维片状TiO2氧化物紧紧包裹在Ti3C2Tx表面,形成Ti3C2Tx‑TiO2异质界面材料,利用Ti3C2Tx‑TiO2异质界面材料制备而成的气体传感器对氢气有很好的响应性以及选择性。

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