-
公开(公告)号:CN103627400B
公开(公告)日:2016-02-17
申请号:CN201310370161.5
申请日:2013-08-22
申请人: 易安爱富科技有限公司
摘要: 本发明钼合金膜和铟氧化膜腐蚀液组成物质包括过氧化氢、氟化物、具有磺酸基的化合物、防腐剂、辅助氧化剂、双氧水稳定剂和水。本发明能够在稳定钼合金膜、铟氧化膜或钼合金膜蚀刻速度的同时,降低像素电极下部的绝缘膜SiNx的蚀刻速度,并减少后续对准层涂抹工序中由于涂抹不均而造成的不良反应。
-
公开(公告)号:CN103627400A
公开(公告)日:2014-03-12
申请号:CN201310370161.5
申请日:2013-08-22
申请人: 易安爱富科技有限公司
摘要: 本发明钼合金膜和铟氧化膜腐蚀液组成物质包括过氧化氢、氟化物、具有磺酸基的化合物、防腐剂、辅助氧化剂、双氧水稳定剂和水。本发明能够在稳定钼合金膜、铟氧化膜或钼合金膜蚀刻速度的同时,降低像素电极下部的绝缘膜SiNx的蚀刻速度,并减少后续对准层涂抹工序中由于涂抹不均而造成的不良反应。
-
公开(公告)号:CN103080067B
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN201080068890.X
申请日:2010-09-08
申请人: 易安爱富科技有限公司
IPC分类号: C07C67/60 , C07C67/54 , C07C69/708 , C07B63/00
摘要: 本发明涉及一种废有机溶剂的提纯方法。在含有显示器的制造工艺等中生成的丙二醇甲醚醋酸酯的废有机溶剂中添加醇盐类化合物,得到的混合物发生反应,使得丙酸类及酮类等的杂质的沸点改变,能够以高回收率回收高纯度的提纯物。
-
公开(公告)号:CN103080067A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201080068890.X
申请日:2010-09-08
申请人: 易安爱富科技有限公司
IPC分类号: C07C67/60 , C07C67/54 , C07C69/708 , C07B63/00
摘要: 本发明涉及一种废有机溶剂的提纯方法。在含有显示器的制造工艺等中生成的丙二醇甲醚醋酸酯的废有机溶剂中添加醇盐类化合物,得到的混合物发生反应,使得丙酸类及酮类等的杂质的沸点改变,能够以高回收率回收高纯度的提纯物。
-
-
-