-
公开(公告)号：CN118329418A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410514684.0
申请日：2024-04-26
申请人： 星奇(上海)半导体有限公司
IPC分类号： G01M13/00
摘要： 本说明书实施例提供一种阀门测试系统，包括：待测试阀门，所述待测试阀门包括相互配合的阀体和手柄，所述手柄可相对于阀体转动，以使得所述待测试阀门打开或关闭；阀门固定板，所述阀体安装于所述阀门固定板上；驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述手柄，使得所述手柄可相对于所述阀体做往复运动。所述阀门固定板用于安装待测试阀门，通过驱动机构驱动手柄，使得手柄相对于阀体做往复运动，从而实现对阀门启闭的动作寿命测试，该测试系统方法可靠、成本较低、安装方便、结构紧凑，可以用于需要大量测试以确认动作寿命的手动阀门。
-
公开(公告)号：CN117927714A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311827576.0
申请日：2023-12-27
申请人： 星奇(上海)半导体有限公司
摘要： 本申请提供一种组合开闭装置及半导体设备，应用于开闭装置技术领域，该组合开闭装置用于控制流体介质的流通或阻隔；包括多个开闭体；开闭体上均设置有流体通道口，且相邻开闭体之间的流体通道口对应设置；相邻开闭体之间设置有密封件，且密封件围绕相邻开闭体之间对应的流体通道口设置，密封件形成相邻开闭体之间对应的流体通道口的连通路径，以阻隔流体介质从相邻开闭体之间对应的流体通道口泄漏。本申请将密封件设置在相邻开闭体之间，密封件形成相邻开闭体之间的流体通道口的连通路径，能够防止流体从相邻开闭体之间的流体通道口泄漏，节省了焊接、法兰、接头等连接所需长度，极大地缩短了整体空间。
-
公开(公告)号：CN117948435A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311825077.8
申请日：2023-12-27
申请人： 星奇(上海)半导体有限公司
摘要： 本申请提供一种流道开闭装置，应用于流道开闭技术领域，其中，包括装置盖、装置本体、螺纹杆件、缓冲圈、锁紧盖以及开闭件；装置本体与流道连通，以流通流体介质；装置盖连通装置本体；螺纹杆件通过螺纹连接的方式上下移动连接装置盖的内壁；开闭件连接螺纹杆件，开闭件通过螺纹杆件的带动作用对应开闭装置本体内的流通处；锁紧盖设置在装置盖上，且锁紧盖将缓冲圈压接在装置盖上；缓冲圈套设在螺纹杆件上，且缓冲圈对螺纹杆件进行定位缓冲。本申请通过在螺纹杆件上套设缓冲圈，通过锁紧盖将螺纹杆件压在装置盖上，实现缓冲圈对螺纹杆件进行定位缓冲，减少螺纹杆件在实际操作中产生顿挫以及异响的概率，有利于提高长期寿命以及操作者使用感。
-
公开(公告)号：CN118482230A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410514544.3
申请日：2024-04-26
申请人： 星奇(上海)半导体有限公司
IPC分类号： F16K31/143 , F16K31/60 , F16K35/00 , F16K7/17 , F15B15/14
摘要： 本申请提供一种可手动控制的气动控制装置，涉及半导体工艺设备技术领域。所述可手动控制的气动控制装置包括气管接头、手动组件、气控组件以及阀体组件，所述气管接头用于通入控制气体；所述手动组件包括旋转手柄、指示板、锁定板和压缩弹簧，所述压缩弹簧位于所述指示板下方，所述旋转手柄与所述锁定板连接，所述指示板上设置有供所述锁定板开启或关闭的锁定位置；所述气控组件包括进气杆、预留工装位置、弹簧、上活塞、中活塞、下活塞、执行器上盖以及外壳，所述阀体组件包括阀盖、顶柱、膜片、阀座和阀体，实现了多种组合控制方式，且控制过程更严密可靠，也能保障执行效率。
-
公开(公告)号：CN118197831A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410524154.4
申请日：2024-04-29
申请人： 星奇(上海)半导体有限公司
摘要： 本说明书实施例提供一种用于高纯气体的控制器开关，包括相互配合的开关本体和接头，还包括：碟簧，开关本体内开设有腔室，碟簧容置于腔室内；碟簧轴，碟簧轴第一端与接头相对应，碟簧轴的第二端与碟簧相对应；微动开关，微动开关设置于碟簧上方，微动开关容置于腔室内；盖板，盖板与开关本体相配合；其中，当接头受到压力时，接头处的压力通过碟簧轴传递到碟簧处，当压力小于碟簧的预设力时，碟簧轴无位移，当压力大于碟簧的预设力时，碟簧轴产生位移推动微动开关切换状态。压力开关采用全机械结构，每个零部件均耐高温，可以在高温环境下长时间使用，同时具有优异的耐腐蚀性，可以使用在半导体行业内中的特气环境里。
-
-
-
-
搜索结果
5 条记录 (耗时 0.031 秒)
