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公开(公告)号：CN118163314A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410514534.X
申请日：2024-04-26
申请人： 星奇(上海)半导体有限公司
摘要： 本说明书实施例提供一种药液阀零件射出成型方法及药液阀，方法包括选取树脂作为原材料，通过干燥机对原材料进行干燥，使得所述原材料的含水率低于0.02％；将干燥后的原材料加入到双合金螺杆射出机内；将模具安装到双合金螺杆射出机上，将模具水路接通连接到模温机上；启动双合金螺杆射出机，设定其温度在300℃以上，启动模温机对模具的温度进行控制，使其温度在200℃以上，双合金螺杆射出机将熔融后的材料输送到模具内；材料输送完成后，通过模温机对模具的温度进行控制，使得材料在模具内冷却成型。药液阀零件的洁净度、粗糙度、透光率较好，能够达到半导体行业的质量要求。
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公开(公告)号：CN117948454A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311756881.5
申请日：2023-12-19
申请人： 星奇(上海)半导体有限公司
摘要： 本申请提供一种PFA阀体、阀门及制造方法，应用于半导体制造中特种阀门制造的技术领域，其中，本申请在PFA阀体内流过高温超纯液体时，通过在PFA阀体的外壁上开设多个凹腔，PFA阀体的外壁和凹腔同时与PFA阀体所处的散热流体直接接触，增加了PFA阀体外与散热流体的接触面积，使阀体表面温度可以进一步散发，以此提高了PFA阀体的散热能力，降低了阀体结构的温度积聚，进而降低对PFA阀体刚性的影响，同时每个所述凹腔的周围设置有至少一个其他所述凹腔，相邻凹腔之间形成的腔壁可以增强PFA阀体的结构强度，降低PFA阀体因连续流通高温超纯液体发生变形的概率，提高PFA阀体的可靠性，而且可以降低高温超纯液体发生泄漏的概率。
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公开(公告)号：CN117927714A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311827576.0
申请日：2023-12-27
申请人： 星奇(上海)半导体有限公司
摘要： 本申请提供一种组合开闭装置及半导体设备，应用于开闭装置技术领域，该组合开闭装置用于控制流体介质的流通或阻隔；包括多个开闭体；开闭体上均设置有流体通道口，且相邻开闭体之间的流体通道口对应设置；相邻开闭体之间设置有密封件，且密封件围绕相邻开闭体之间对应的流体通道口设置，密封件形成相邻开闭体之间对应的流体通道口的连通路径，以阻隔流体介质从相邻开闭体之间对应的流体通道口泄漏。本申请将密封件设置在相邻开闭体之间，密封件形成相邻开闭体之间的流体通道口的连通路径，能够防止流体从相邻开闭体之间的流体通道口泄漏，节省了焊接、法兰、接头等连接所需长度，极大地缩短了整体空间。
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公开(公告)号：CN117969073A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202311816805.9
申请日：2023-12-26
IPC分类号： G01M13/003
摘要： 本说明书实施例提供一种药液阀高温测试装置及测试方法，装置包括：加热循环机构、压力调节机构、温度测量机构和药液阀，加热循环机构、压力调节机构、温度测量机构和药液阀之间通过管道组件相连接；加热循环机构用于对介质进行加热；压力调节机构设置于加热循环机构和药液阀之间，压力调节机构对管道组件内的压力进行调节；温度测量机构对流入药液阀处的介质的温度进行测量。通过加热循环机构对介质进行加热，压力调节机构对管道组件内的压力进行调节，以使得介质的沸点在不同压力下发生改变，实现高温测试，通过温度测量机构对介质的温度进行测量，可精确控制和调节测试系统中的温度，以确保测试结果的可靠性和可重复性，保证测试的精准度。
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公开(公告)号：CN117948435A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311825077.8
申请日：2023-12-27
申请人： 星奇(上海)半导体有限公司
摘要： 本申请提供一种流道开闭装置，应用于流道开闭技术领域，其中，包括装置盖、装置本体、螺纹杆件、缓冲圈、锁紧盖以及开闭件；装置本体与流道连通，以流通流体介质；装置盖连通装置本体；螺纹杆件通过螺纹连接的方式上下移动连接装置盖的内壁；开闭件连接螺纹杆件，开闭件通过螺纹杆件的带动作用对应开闭装置本体内的流通处；锁紧盖设置在装置盖上，且锁紧盖将缓冲圈压接在装置盖上；缓冲圈套设在螺纹杆件上，且缓冲圈对螺纹杆件进行定位缓冲。本申请通过在螺纹杆件上套设缓冲圈，通过锁紧盖将螺纹杆件压在装置盖上，实现缓冲圈对螺纹杆件进行定位缓冲，减少螺纹杆件在实际操作中产生顿挫以及异响的概率，有利于提高长期寿命以及操作者使用感。
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公开(公告)号：CN117774350A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311814734.9
申请日：2023-12-27
申请人： 星奇(上海)半导体有限公司
摘要： 本发明公开了一种膜片组件的高分子阀座安装装置，包括：冲压机，其上的冲压杆下端面上开设有冲压槽口；压装夹台，其位于冲压杆下方，压装夹台上压装有膜片组件，膜片组件顶端上开设有安装槽，安装槽内放置有阀座，冲压槽口的内壁面与安装槽的外槽沿压接，以使外槽沿向阀座方向弯折形成用于将阀座压装在安装槽中的弯折压接部。该装置的冲压杆向下冲压安装槽的外槽沿，使外槽沿向阀座方向产生塑性变形，使其形成弯折压接部，进而利用弯折压接部将阀座压装在安装槽中。通过此安装形式阀座的密封面不与其他安装工装接触，从而不会影响密封效果，并且通过这种安装形式可以高效完成阀座的组装，并能够保证安装质量。
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