公开(公告)号：CN103889553A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201280050982.4

申请日：2012-10-15

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 入江一芳 ,  早坂裕二 ,  鸟巢纯一 ,  小野寺正直

IPC: B01D53/86 ,  B01D53/14 ,  B01D53/68

CPC classification number: B01D53/75 ,  B01D53/70 ,  B01D53/8662 ,  B01D2251/404 ,  B01D2255/2065 ,  B01D2255/20707 ,  B01D2255/20746 ,  B01D2255/20753 ,  B01D2255/20784 ,  B01D2255/20792 ,  B01D2255/2094 ,  B01D2257/2066 ,  B01D2258/0216 ,  Y02C20/30

Abstract: 本发明的课题在于提供如下过氟化物的处理方法以及过氟化物处理装置：其能够能效良好地防止热交换器的配管的腐蚀，除此之外，能够削减废水量，效率良好地回收高纯度的氟化钙。进而，提供设备以及设置场所小、效率良好的过氟化物处理装置。本发明将包含过氟化物的废气和水或水蒸气向热交换器（2）供给，通过与高温的分解气体热交换来预热，并进一步加热，利用催化剂（12）分解。在将包含氟化氢气体的分解气体用热交换器（2）冷却后，在酸性气体除去装置（31）内使氟化氢气体与钙盐反应，能够得到高纯度的氟化钙。基于来自酸性气体除去装置的排气中的氟化钙浓度或者该装置内的钙盐的温度，控制钙盐的供给以及排出。

公开(公告)号：CN103889553B

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201280050982.4

申请日：2012-10-15

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 入江一芳 ,  早坂裕二 ,  鸟巢纯一 ,  小野寺正直

IPC: B01D53/86 ,  B01D53/14 ,  B01D53/68

CPC classification number: B01D53/75 ,  B01D53/70 ,  B01D53/8662 ,  B01D2251/404 ,  B01D2255/2065 ,  B01D2255/20707 ,  B01D2255/20746 ,  B01D2255/20753 ,  B01D2255/20784 ,  B01D2255/20792 ,  B01D2255/2094 ,  B01D2257/2066 ,  B01D2258/0216 ,  Y02C20/30

Abstract: 本发明的课题在于提供如下过氟化物的处理方法以及过氟化物处理装置：其能够能效良好地防止热交换器的配管的腐蚀，除此之外，能够削减废水量，效率良好地回收高纯度的氟化钙。进而，提供设备以及设置场所小、效率良好的过氟化物处理装置。本发明将包含过氟化物的废气和水或水蒸气向热交换器（2）供给，通过与高温的分解气体热交换来预热，并进一步加热，利用催化剂（12）分解。在将包含氟化氢气体的分解气体用热交换器（2）冷却后，在酸性气体除去装置（31）内使氟化氢气体与钙盐反应，能够得到高纯度的氟化钙。基于来自酸性气体除去装置的排气中的氟化钙浓度或者该装置内的钙盐的温度，控制钙盐的供给以及排出。