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公开(公告)号：CN103889553B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201280050982.4
申请日：2012-10-15
申请人： 昭和电工株式会社
CPC分类号： B01D53/75 , B01D53/70 , B01D53/8662 , B01D2251/404 , B01D2255/2065 , B01D2255/20707 , B01D2255/20746 , B01D2255/20753 , B01D2255/20784 , B01D2255/20792 , B01D2255/2094 , B01D2257/2066 , B01D2258/0216 , Y02C20/30
摘要： 本发明的课题在于提供如下过氟化物的处理方法以及过氟化物处理装置：其能够能效良好地防止热交换器的配管的腐蚀，除此之外，能够削减废水量，效率良好地回收高纯度的氟化钙。进而，提供设备以及设置场所小、效率良好的过氟化物处理装置。本发明将包含过氟化物的废气和水或水蒸气向热交换器（2）供给，通过与高温的分解气体热交换来预热，并进一步加热，利用催化剂（12）分解。在将包含氟化氢气体的分解气体用热交换器（2）冷却后，在酸性气体除去装置（31）内使氟化氢气体与钙盐反应，能够得到高纯度的氟化钙。基于来自酸性气体除去装置的排气中的氟化钙浓度或者该装置内的钙盐的温度，控制钙盐的供给以及排出。
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公开(公告)号：CN104056547A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410103925.9
申请日：2014-03-19
申请人： 昭和电工株式会社
CPC分类号： Y02C20/30 , Y02P70/605
摘要： 本发明提供能够从分解气体更切实地除去酸成分，并且能够减少用于干式除去酸成分的药剂的消耗量的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置（2），其特征在于，具备：对装置入口排气以及水进行加热，并且利用预先确定的催化剂水解过氟化物而生成含有HF的分解气体的加热单元（第1加热器（221）、第2加热器（222））；配置在加热单元的前段和后段，在装置入口排气以及水与分解气体之间进行热交换的热交换器（231）；利用药剂从分解气体干式除去HF的酸成分除去装置（232）；检测从酸成分除去装置（232）流出的排气中所含的HF的浓度的HF浓度传感器（236）；和执行向酸成分除去装置（232）进行药剂的排出以及供给的控制的控制装置（24）。
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公开(公告)号：CN1639058A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN02802243.2
申请日：2002-06-27
申请人： 昭和电工株式会社
CPC分类号： G01N21/3504 , C01B7/20 , G01N21/0303 , G01N21/09 , G01N2030/143 , H01S3/036 , H01S3/225 , Y10T436/19
摘要： 在容器中分别进行至少一次步骤(1)将氟镍化合物加热以释放氟气体、步骤(2)使氟气体包藏在氟镍化合物内以及步骤(3)将氟镍化合物加热并降低内压，随后在步骤(1)中获得高纯氟气体。此外，在其表面上具有形成的氟化层的容器中，分别进行至少一次步骤(5)将氟镍化合物加热并将降低内压和步骤(6)使氟化氢含量降低的氟气体被包藏到氟镍化合物内，并进一步进行步骤(5)，然后将含不纯物的氟气体与氟镍化合物接触以固定并除去氟气体，和通过气相色谱分析不纯物。
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公开(公告)号：CN104108736B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201410151914.8
申请日：2014-04-16
申请人： 昭和电工株式会社
IPC分类号： C01F11/22
CPC分类号： Y02P20/129
摘要： 本发明提供一种难以产生含有酸成分的排水、能量的利用效率更好的氟化钙的制造方法。所述氟化钙的制造方法，其特征在于，具备：加热工序（K2），该工序对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气体的分解气体；热交换工序（K3），该工序在流入加热工序（K2）之前的含有装置入口排气以及水与从加热工序（K2）流出后的分解气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序（K4），该工序使从热交换工序（K3）流出后的分解气体中所含的酸成分与钙盐反应生成氟化钙。
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公开(公告)号：CN104108736A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410151914.8
申请日：2014-04-16
申请人： 昭和电工株式会社
IPC分类号： C01F11/22
CPC分类号： Y02P20/129
摘要： 本发明提供一种难以产生含有酸成分的排水、能量的利用效率更好的氟化钙的制造方法。所述氟化钙的制造方法，其特征在于，具备：加热工序（K2），该工序对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气体的分解气体；热交换工序（K3），该工序在流入加热工序（K2）之前的含有装置入口排气以及水与从加热工序（K2）流出后的分解气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序（K4），该工序使从热交换工序（K3）流出后的分解气体中所含的酸成分与钙盐反应生成氟化钙。
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公开(公告)号：CN101027248B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200580032294.5
申请日：2005-09-22
申请人： 昭和电工株式会社
CPC分类号： B01J7/00 , B01J19/2495 , B01J2219/00085 , C01B7/20 , C23C16/4405 , Y10T137/0329 , Y10T137/6525 , Y10T137/6606 , Y10T137/87652
摘要： 本发明涉及一种生产氟气的方法，包括步骤(1)使用具有透气性的结构体将配有加热装置的氟气发生容器的内部分区，然后在每个区域中装入高价金属氟化物并将该高价金属氟化物加热，由此生成氟气。该方法可以包括步骤(2)使已在步骤(1)中由其生成氟气的高价金属氟化物吸留氟气。根据本发明的方法，可以廉价地大规模生产可用作半导体或液晶制造工艺中的蚀刻气体或清洁气体的高纯氟气。
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公开(公告)号：CN101027248A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200580032294.5
申请日：2005-09-22
申请人： 昭和电工株式会社
CPC分类号： B01J7/00 , B01J19/2495 , B01J2219/00085 , C01B7/20 , C23C16/4405 , Y10T137/0329 , Y10T137/6525 , Y10T137/6606 , Y10T137/87652
摘要： 本发明涉及一种生产氟气的方法，包括步骤(1)使用具有透气性的结构体将配有加热装置的氟气发生容器的内部分区，然后在每个区域中装入高价金属氟化物并将该高价金属氟化物加热，由此生成氟气。该方法可以包括步骤(2)使已在步骤(1)中由其生成氟气的高价金属氟化物吸留氟气。根据本发明的方法，可以廉价地大规模生产可用作半导体或液晶制造工艺中的蚀刻气体或清洁气体的高纯氟气。
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公开(公告)号：CN104107623B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201410152775.0
申请日：2014-04-16
申请人： 昭和电工株式会社
CPC分类号： Y02C20/30
摘要： 本发明提供能够从分解气体更切实地除去酸成分，并且能够更顺利地进行用于干式除去酸成分的药剂的更换的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备：加热单元，其对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并利用催化剂水解过氟化物，生成分解气体；配置在加热单元的前段以及后段的热交换单元；和干式除去分解气体中的酸成分的酸成分除去单元，酸成分除去单元在装置底部具备：能够开闭，且在成为打开了的状态时取出反应后的药剂的闸门（251a～251e）（闸门（251））；和狭缝部（252），其配置于闸门（251）之间，具有从上方朝向闸门（251）的斜面（S1、S2），并且在斜面（S1、S2）上具有使分解气体通过而不使药剂通过的大小的狭缝（252a）。
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公开(公告)号：CN104107623A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410152775.0
申请日：2014-04-16
申请人： 昭和电工株式会社
CPC分类号： Y02C20/30
摘要： 本发明提供能够从分解气体更切实地除去酸成分，并且能够更顺利地进行用于干式除去酸成分的药剂的更换的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备：加热单元，其对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并利用催化剂水解过氟化物，生成分解气体；配置在加热单元的前段以及后段的热交换单元；和干式除去分解气体中的酸成分的酸成分除去单元，酸成分除去单元在装置底部具备：能够开闭，且在成为打开了的状态时取出反应后的药剂的闸门（251a～251e）（闸门（251））；和狭缝部（252），其配置于闸门（251）之间，具有从上方朝向闸门（251）的斜面（S1、S2），并且在斜面（S1、S2）上具有使分解气体通过而不使药剂通过的大小的狭缝（252a）。
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