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公开(公告)号：CN103714831A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310438547.5
申请日：2013-09-24
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: G11B5/85 , G11B5/8408
Abstract: 本发明提供一种磁记录介质的制造方法及装置。该制造方法是在被积层体上依次形成磁记录层、保护层、及润滑层的磁记录介质的制造方法，其中，将由成膜装置形成了保护层后的被积层体不与大气接触地封入移送容器单元内；将移送容器单元搬送至汽相润滑成膜装置；将被封入了移送容器单元内的被积层体不与大气接触地从移送容器单元内取出，并在汽相润滑成膜装置内采用汽相润滑成膜方法在被积层体上形成润滑层。
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公开(公告)号：CN103928033B
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201410017329.9
申请日：2014-01-15
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: G11B5/8408
Abstract: 一种磁记录介质的制造方法，在被积层体上依次形成磁记录层、保护层、及润滑层，其特征在于：将由成膜装置形成了保护层后的被积层体不与大气接触地封入移送容器单元内；将移送容器单元搬送至汽相润滑成膜装置；及将被封入了移送容器单元内的被积层体不与大气接触地从移送容器单元内取出，在汽相润滑成膜装置内采用汽相润滑成膜方法在被积层体上形成润滑层。移送容器单元具有：对被积层体进行封入的移送容器、与成膜装置及汽相润滑成膜装置可装卸连接的预备室、对移送容器及预备室进行连接的闸阀、及可由闸阀的第1及第2阀体进行划分的分离室。在第1阀体打开了的状态下，分离室与预备室连通，在第2阀体打开了的状态下，分离室与容置室连通。
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公开(公告)号：CN103928033A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410017329.9
申请日：2014-01-15
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: G11B5/8408
Abstract: 一种磁记录介质的制造方法，在被积层体上依次形成磁记录层、保护层、及润滑层，其特征在于：将由成膜装置形成了保护层后的被积层体不与大气接触地封入移送容器单元内；将移送容器单元搬送至汽相润滑成膜装置；及将被封入了移送容器单元内的被积层体不与大气接触地从移送容器单元内取出，在汽相润滑成膜装置内采用汽相润滑成膜方法在被积层体上形成润滑层。移送容器单元具有：对被积层体进行封入的移送容器、与成膜装置及汽相润滑成膜装置可装卸连接的预备室、对移送容器及预备室进行连接的闸阀、及可由闸阀的第1及第2阀体进行划分的分离室。在第1阀体打开了的状态下，分离室与预备室连通，在第2阀体打开了的状态下，分离室与容置室连通。
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公开(公告)号：CN103680526A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310410975.7
申请日：2013-09-11
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: G11B5/85 , C23C14/564 , G11B5/8408
Abstract: 本公开提供了一种磁性记录介质的制造方法和装置。在被层积体上按顺序形成磁性记录层、保护层、以及润滑层，在使形成了所述保护层后的所述被层积体不与大气接触的状态下，用气相润滑成膜方法形成所述润滑层，当所述保护层成膜时的工艺气体压力为Ｐ1，所述润滑层成膜时的工艺气体压力为Ｐ2时，在从形成所述保护层后到形成所述润滑层之间的所述被层积体的运送路线上，设置满足Ｐ3＞Ｐ1、且Ｐ3＞Ｐ2的关系的气体压力Ｐ3的区域。根据本发明方法和装置，可以防止所形成的层的质量的下降，同时提高生产率。
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