公开(公告)号：CN108290113A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201680068104.3

申请日：2016-10-31

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 村川美奈子 ,  佐野友美 ,  远田安沙子

IPC: B01D53/68 ,  B01D53/14 ,  B01D53/78

Abstract: 本发明的含有氟元素的废气的处理方法，其特征在于，具有：利用惰性气体将含有氟元素的废气(a)稀释，使氟气(F2)浓度成为25体积％以下，调制稀释气体(b)的稀释工序；和使稀释气体(b)与水接触，得到处理气体(c)的水吸收工序。通过本发明的方法，能够提供一种在采用湿式法处理含有氟元素的废气时，有效抑制由氟气生成二氟化氧的副反应发生，经济且有效地处理含有氟元素的废气的方法。另外，本发明通过在处理工序中有效抑制二氟化氧的生成，在使用药液进行追加处理的情况下，能够使其处理效果大幅提升，并且抑制药液使用量。

公开(公告)号：CN108348850A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680068109.6

申请日：2016-10-31

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 村川美奈子 ,  佐野友美 ,  远田安沙子

IPC: B01D53/68 ,  B01D53/14 ,  B01D53/78

CPC classification number: B01D53/14 ,  B01D53/68 ,  B01D53/78

Abstract: 本发明的含有氟元素的废气的处理方法，其特征在于，具有：第一工序，使含有氟元素的废气与水接触；和第二工序，使从第一工序排出的气体成分与包含还原剂的碱性水溶液接触。通过本发明的含有氟元素的废气的处理方法，能够采用湿式法有效处理含有氟元素的废气，即使在处理氟气的浓度高的废气的情况下，也能够充分减少处理气体中的氟、二氟化氧等氧化性气体、氟化氢等酸性气体等有毒的氟系气体。本发明中，通过以特定的两个阶段进行处理，能够高度减少所排出的处理气体中的氟系气体，并且能够大幅减少作为药液使用的包含还原剂的碱性水溶液的使用量，经济且高效。