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公开(公告)号：CN101569841B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN200910141932.7
申请日：2009-04-10
申请人： 普莱克斯技术有限公司
发明人： J·D·佩克
IPC分类号： B01J4/00 , B01L5/00 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/4482 , B01J4/001 , C23C16/4481 , F16L19/0218 , Y10T137/0324
摘要： 本发明涉及试剂分配装置及输送方法，且具体来说涉及一种气相或液相试剂分配装置，其可用于分配气相或液相试剂，例如用于在半导体材料和器件的制造中沉积材料的前驱体。本发明减少了支持不同应用所需的的容器设计数目。依据本发明，不带导管的标准双端口容器可通过在其中一个端口和相应的阀之间插入垫圈/导管连接器而转换为能在需要导管(即输送气体用的鼓泡器导管或输送液体用的汲取管)的应用中使用的容器。
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公开(公告)号：CN100543178C
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200380107839.5
申请日：2003-10-30
申请人： 普莱克斯技术有限公司
IPC分类号： C23C16/18
摘要： 本发明公开一种制备薄膜、涂层或者粉末的方法，此方法应用通式CpMCp’的金属茂或者金属茂类前体，其中M为选自Ru、Os和Fe的金属；Cp为第一个取代的环戊二烯基或者环戊二烯基类(例如茚基)部分，该部分包含至少一个取代基D1，其中D1为X；Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2O Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)OCa1Hb1Xc1或者Ca2Hb2Xc2O(C＝O)Ca1Hb1Xc1；Cp′是第二个取代的环戊二烯基或者环戊二烯基类(例如茚基)部分，该部分包含至少一个取代基D1′，D1′为X；Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2O Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)OCa1Hb1Xc1或者Ca2Hb2Xc2O(C＝O)Ca1Hb1Xc1。D1与D1′彼此不同。X为卤素原子或者NO2；a1为1到8的整数；b1为0到2(a1)+1-c1的整数；c1为0到2(a1)+1-b1的整数；b1+c1至少为1；a2为0到8的整数；b2为0到2(a2)+1-c2的整数；c2为0到2(a2)+1-b2的整数；本方法可用于电子器件的制造或加工。
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公开(公告)号：CN101608734B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN200910141925.7
申请日：2009-04-10
申请人： 普莱克斯技术有限公司
发明人： J·D·佩克
CPC分类号： F16L19/0218 , B01J4/001 , C23C16/4481 , C23C16/4482
摘要： 本发明涉及试剂分配装置及输送方法，且具体来说涉及一种气相或液相试剂分配装置，其可用于分配气相或液相试剂，例如用于在半导体材料和器件的制造中沉积材料的前驱体。本发明减少了支持不同应用所需的容器设计数目。依据本发明，不带导管的标准双端口容器可通过在其中一个端口和相应的阀之间插入垫圈/导管连接器而转换为能在需要导管(即输送气体用的鼓泡器导管或输送液体用的汲取管)的应用中使用的容器。
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公开(公告)号：CN1732286A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200380107839.5
申请日：2003-10-30
申请人： 普莱克斯技术有限公司
IPC分类号： C23C16/18
摘要： 本发明公开一种制备薄膜、涂层或者粉末的方法，此方法应用通式CpMCp’的金属茂或者金属茂类前体，其中M为选自Ru、Os和Fe的金属；Cp为第一个取代的环戊二烯基或者环戊二烯基类(例如茚基)部分，该部分包含至少一个取代基D1，其中D1为X；Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2OCa1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)OCa1Hb1Xc1或者Ca2Hb2Xc2O(C＝O)Ca1Hb1Xc1；Cp′是第二个取代的环戊二烯基或者环戊二烯基类(例如茚基)部分，该部分包含至少一个取代基D1′，D1′为X；Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2OCa1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)OCa1Hb1Xc1或者Ca2Hb2Xc2O(C＝O)Ca1Hb1Xc1。D1与D1′彼此不同。X为卤素原子或者NO2；a1为1到8的整数；b1为0到2(a1)+1－c1的整数；c1为0到2(a1)+1－b1的整数；b1+c1至少为1；a2为0到8的整数；b2为0到2(a2)+1－c2的整数；c2为0到2(a2)+1－b2的整数；本方法可用于电子器件的制造或加工。
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公开(公告)号：CN101608734A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200910141925.7
申请日：2009-04-10
申请人： 普莱克斯技术有限公司
发明人： J·D·佩克
IPC分类号： F17D1/04 , F17D3/01 , F17D5/00 , C23C16/455
CPC分类号： F16L19/0218 , B01J4/001 , C23C16/4481 , C23C16/4482
摘要： 本发明涉及试剂分配装置及输送方法，且具体来说涉及一种气相或液相试剂分配装置，其可用于分配气相或液相试剂，例如用于在半导体材料和器件的制造中沉积材料的前驱体。本发明减少了支持不同应用所需的容器设计数目。依据本发明，不带导管的标准双端口容器可通过在其中一个端口和相应的阀之间插入垫圈/导管连接器而转换为能在需要导管(即输送气体用的鼓泡器导管或输送液体用的汲取管)的应用中使用的容器。
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公开(公告)号：CN101569841A
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200910141932.7
申请日：2009-04-10
申请人： 普莱克斯技术有限公司
发明人： J·D·佩克
IPC分类号： B01J4/00 , B01L5/00 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/4482 , B01J4/001 , C23C16/4481 , F16L19/0218 , Y10T137/0324
摘要： 本发明涉及试剂分配装置及输送方法，且具体来说涉及一种气相或液相试剂分配装置，其可用于分配气相或液相试剂，例如用于在半导体材料和器件的制造中沉积材料的前驱体。本发明减少了支持不同应用所需的容器设计数目。依据本发明，不带导管的标准双端口容器可通过在其中一个端口和相应的阀之间插入垫圈/导管连接器而转换为能在需要导管(即输送气体用的鼓泡器导管或输送液体用的汲取管)的应用中使用的容器。
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