公开(公告)号：CN116917539A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202280014874.5

申请日：2022-02-11

Applicant: 普莱克斯技术有限公司 ,  三星电子株式会社

Inventor： 阿什维尼·K·辛哈 ,  宋雪梅 ,  W·S·凯恩 ,  Y-J·曹 ,  W·钟 ,  Y·韩

IPC: C23C16/448

Abstract: 本发明描述了包含至少部分地溶解在改进的溶剂中的乙炔流体的组合物。改进的溶剂表现出非毒性并且进一步的特征在于低蒸气压，以最小化在乙炔流体递送期间的溶剂携带，同时保持合适的乙炔增溶能力。

公开(公告)号：CN115003780A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202180010323.7

申请日：2021-02-18

Applicant: 普莱克斯技术有限公司

Inventor： 宋雪梅 ,  W·S·凯恩 ,  阿什维尼·K·辛哈

IPC: C10L3/04

Abstract: 本发明描述了包含至少部分地溶解在改进的溶剂中的乙炔流体的组合物。改进的溶剂表现出非毒性并且进一步的特征在于低蒸气压，以最小化在乙炔流体递送期间的溶剂携带，同时保持合适的乙炔增溶能力。

公开(公告)号：CN115003780B

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202180010323.7

申请日：2021-02-18

Applicant: 普莱克斯技术有限公司

Inventor： 宋雪梅 ,  W·S·凯恩 ,  阿什维尼·K·辛哈

IPC: C10L3/04

Abstract: 本发明描述了包含至少部分地溶解在改进的溶剂中的乙炔流体的组合物。改进的溶剂表现出非毒性并且进一步的特征在于低蒸气压，以最小化在乙炔流体递送期间的溶剂携带，同时保持合适的乙炔增溶能力。

公开(公告)号：CN105960615A

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201580007501.5

申请日：2015-02-03

Applicant: 普莱克斯技术有限公司

Inventor： 宋雪梅 ,  C.李钦伯格 ,  L.A.布朗

IPC: G05D11/13

Abstract: 提供一种生产具有最小容限变动的期望目标浓度的混合物并且没有废气产生的动态共混系统和方法。可利用由所述共混方法制备的混合物，且无需排出。本发明的系统和方法使对共混的气体混合物的浓度进行相对小的调节的能力成为可能。所述系统和方法还包括减小测量误差的特别设计的取样方案。