原位XPS测试装置及系统
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220271207U

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202323192166.1

    申请日:2023-11-27

    IPC分类号: G01N23/2273

    摘要: 本实用新型公开了一种原位XPS测试装置及系统,涉及检测技术领域,所述原位XPS测试装置包括金属底座及金属台,所述金属底座的上表面划分为样品区及刻蚀区,所述样品区用于放置固态电解质样品,所述金属台设于所述刻蚀区上;所述金属底座上开设有定位腔,所述金属台包括承载件及设于所述承载件底部的支撑件,所述支撑件嵌于所述定位腔内以使所述承载件固定于所述刻蚀区上;所述承载件上设有刻蚀面,所述刻蚀面与所述金属底座的上表面垂直,所述承载件的刻蚀面用于放置负极片。本原位XPS测试装置体积小巧、安装/拆卸方便,可对固态电解质样品及负极片进行针对性固定,便于后续对固态电解质样品进行原位XPS检测。